ウエハホットチャック フィルム吸着 

作成日 msafactoryweb4

ウエハホットチャック

PH050 PH070 PH101  PH101-TIN
外観 PH050 PH070 PH101 PH101TIN
最高使用温度 300℃ 300℃ 200℃ 300℃
チャックサイズ 30×40mm 70×70mm 100×100mm 100×100mm
特徴・仕様 ○レーザーマーキングガイド付き ○レーザーマーキングガイド付き ○吸着パターンカスタマイズ対応 ○トッププレート構造
(材質・表面処理 変更可)
カタログPDF PH050 PH070 PH101 PH101_TIN
本体価格(税別) ¥115,000 ¥125,000 ¥125,000 ¥125,000~
PH-201 PH-201C PH302 PH101T
 PH201_  PH201  PH302.jpg  PH101T
最高使用温度 200℃ 200℃/400℃ 300℃ 300℃
チャックサイズ 4~6インチ 4~6インチ 200×200mm 4インチ
特徴・仕様 ○温度範囲・チャックサイズ カスタマイズ対応
○吸着サイズ切替オプション
○トッププレート 金メッキ処理
○ホットプレート部 絶縁処理
○空冷機能付
○プレート材質:アルミ合金(アルマイト処理)
○吸着サイズ切替オプション
○ワーク固定ツール・ステージ固定金具付き
○トッププレート 金メッキ処理
○ホットプレート部 絶縁処理
カタログPDF PH201 PH201C PH302 PH101T
本体価格(税別) ¥145,000~ ¥250,000~ ¥265,000~ ¥180,000~

フィルム吸着ホットプレート

PA2012-FC PA2020-FC PA2012-WPFC PA2020-WPFC
 PA2012FC  PA2020WPFC  PA2012FC  PA2020WPFC
最高使用温度 200℃ 200℃ 200℃ 200℃
チャックサイズ □120mm □200mm □120mm □200mm
特徴・仕様 天板材質:多孔質セラミック
定格:AC100V,800W
温度分布:±2.0%
天板材質:多孔質セラミック
定格:AC100V,1500W
温度分布:±2.0%
天板材質:多孔質セラミック
定格:AC100V,800W
温度分布:±2.0%
○配線部防水仕様
天板材質:多孔質セラミック
定格:AC100V,1500W
温度分布:±2.0%
○配線部防水仕様
カタログPDF PA2012FC PA2012WPFC PA2020WPFC
本体価格(税別) ¥205,000 ¥360,000 ¥225,000 ¥380,000


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