1. デジタルサーボプレス HE-DDシリーズ

  2. 撹拌機/SKシリーズ

  3. セラミックヒートステージ/ PXシリーズ

  4. 顕微鏡ヒートステージ/ PNシリーズ

  5. ウエハホットチャック/PH201シリーズ

  6. 真空チャンバー特注対応品 

  7. 小型温度チャンバー 小型ペルチェタイプ PGシリーズ

  8. リフター・カバー付きホットチャック/加熱炉 PA-LIFシリーズ

  9. セラミック加工品

  10. ダイコレット・吸着コレット カスタム品

  11. エッチング加工品

  12. 銅合金加工品

超高速昇温・高温ヒートステージ   MSA製品で最高スピード
PXシリーズ    

セラミックホットプレート  ヒートステージ 最高温度 600℃までラインナップ

主な用途

超高速昇温・高速降温   温度プロセス向け

高温時での温度精度

 面内分布 ±1% 以下  高精度ホットプレート

超高速昇温

MSAホットプレート製品 最高速昇温ホットプレート  室温から600℃まで 50秒 で到達

昇温レートは、最高で15℃/SECです。

高速降温

金属製ホットプレートと比較し、温度も下がりやすい特性です。 最高 3℃/sec

600℃→500℃まで 30sec   600℃→300℃まで 3min  600℃→100℃まで 12min  すべて自然冷却の速度です。

高温 絶縁性

ヒータエレメントをセラミックで絶縁しておりますので、通常のヒータより、絶縁性が高いです。

素材

ヒータエレメント 耐熱金属箔、プレート PX60シリーズ 窒化アルミ 、遮熱シャーシ チタンシャーシ(高温での色付けをしておりますので、製品によるムラ等ございます)

温度プログラム追従性

超高速昇温/高速降温を使用した温度プログラムの実施が可能です。  プログラム式温度コントローラ/PCC107Co また、温度プログラム管理ソフトウェア PCS100-4chをご使用ください。PCS100-4chのカタログはこちら PCS100-4ch

機種一覧

型番
PX6040 (発売開始)
PX6035(発売予定)
PX8025(評価中)
最高温度
600℃ 600℃ 800℃
プレートサイズ
40×40mm 35×35mm 25×25mm
プレート材質
窒化アルミ/AlN
電源電圧
AC100V
オプション
PCS100-4CH(PC接続ソフトウェア、USB変換ケーブル付き)
適合温度
コントローラ
PCC100G、PCC107Co
(通信機能付き)
特長
超高速昇温・高速降温、薄型タイプ、設置面は、600℃使用時で裏面、100℃程度(若干耐熱性のある設置面が必要です)
温度
プロファイル

 

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