真空環境 遠赤外線ホットプレート PH220-300C 最高温度 200℃
主な用途
真空加熱用 真空環境用 遠赤外線による加熱ホットプレート ワークを非接触で均一な加熱
MSAファクトリー 加熱ノウハウ
素材（超耐熱プレート、熱歪対策）ヒータ設計、断熱、熱輻射など様々なノウハウを結集しております。
セラミックコーティング ホットプレート
セラミックコーティング膜による赤外線加熱で、最高温度200℃まで対応可能です。非接触なので、ワークへのコンタミ、ワーク間のコンタミを低減することが可能です。
大サイズ・カスタムサイズ対応
サイズはカスタマイズ可能です。最大サイズは、□300mm 真空環境用としては大型のワークを均一加熱いたします
ケーブル・フィードスルー
チャンバー内へのケーブル接続は、各種真空フランジ（ＶＦ、ＶＧ、ＫＦ等）に対応したケーブル・フィードスルーをご提供いたします。
機種一覧
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型番 |
PH220-300Ｃ |
最高温度 |
200℃ |
プレートサイズ |
最大300×300mm |
プレート材質 |
アルミ合金、セラミックコーティング処理 |
電源電圧 |
AC200V |
特長 |
セラミックコーティングによる遠赤外線加熱 |
適合温度コントローラ |
PCC107-FL、PCC100G等 |
コントローラ |
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オプション |
プロキシミティーピン、取付用金具、フィードスルー、フランジ等 |
