1. デジタルサーボプレス HE-DDシリーズ

  2. 撹拌機/SKシリーズ

  3. セラミックヒートステージ/ PXシリーズ

  4. 顕微鏡ヒートステージ/ PNシリーズ

  5. ウエハホットチャック/PH201シリーズ

  6. 真空チャンバー特注対応品 

  7. 小型温度チャンバー 小型ペルチェタイプ PGシリーズ

  8. リフター・カバー付きホットチャック/加熱炉 PA-LIFシリーズ

  9. セラミック加工品

  10. ダイコレット・吸着コレット カスタム品

  11. エッチング加工品

  12. 銅合金加工品

FXYステージ
ロングストローク・フリースライド ステージ

ロングストローク・フリースライド

長いストロークをフリーにスライドさせるアプリケーション用 ステージ

多軸ステージのベース駆動

微動/XYステージ、θステージ、Zステージなどと組み合わせて構成すると、多軸ステージとして、機能性が充実いたします。

ロック機能

大きくスライド位置調整後は、ロック機能を使用して、粗動移動をロック(固定)し、微動ステージでの位置調整が行えます。

多軸カスタム事例

FXY200+IXY200+MSS220(θステージ)   5軸手動 ステージ

カスタム多軸ステージ 製作事例

FXY200+SXY200+MSS220(θステージ)5軸手動 ステージ +顕微鏡スタンド

カスタム多軸ステージ 製作事例

FXY300+MSZ180+MSS220(θステージ)4軸手動 ステージ

 

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