真空加熱炉・乾燥炉 チャンバー PH225 最高温度 700℃
主な用途
真空加熱プロセス 真空ベーク、真空乾燥機、VCDとしてご使用いただけます。カラータッチパネル式温度コントローラ/PCC118-HVMJにより、簡単な操作にて、真空加熱プロセスをご利用いただけます。
MSAファクトリー 加熱ノウハウ
ヒータ設計、断熱、熱輻射など様々なノウハウを結集しております。またソフトウェアも高機能仕様
シンプルな本体＋豊富なオプションにより様々なアプリケーションに対応
シンプルな本体＋コントローラにより、高温・真空プロセスの構築が可能です。また、豊富なオプション、カスタム対応により、御社に最適な機種構築が可能です。
主なオプション/全てカスタマイズ可能
ワーク対応：プロキシミティピン、位置決めピン、リフター機能
ガスフロー：O2、H2（混合ガス）、その他（N2ガスは標準仕様）
計測機能：O2濃度系、露点計、ピラニー真空ゲージは標準仕様
観察窓：耐熱ガラス、石英ガラス （広開口タイプは、石英ガラスのみ）
長時間・高温運転：水冷却ユニット
揮発物対応：冷却トラップユニット、真空フレキチューブヒータ追加
圧力・流量制御：マスフロー流量制御、コンダクタンスバルブ真空圧力制御、スロー排気、スローベンド
ワーク搬送：ウエハ搬送ユニット
副室：ロードロック式ウエハ搬送ユニット
＊オプションリストはこちら PH224_225_OP1 ＊その他のオプションはお問合せください。
＊PH225 カタログはこちら PH225カタログ （英語版 PH225_EN）
高性能
ホットプレート加熱ですので、均一な加熱が可能です。真空乾燥機の中では、ワークの処理時間も短時間で、従来プロセスとの時間をぜひ、比較してください。
長時間加熱／超高温真空加熱
1時間を超える加熱工程、超高温（800℃）対応。ワークの長時間対応として、水冷機能付き（オプション）、チラーおよび循環冷却水が別途必要となります。
安全性
過昇温監視機能、非常停止機能、漏電検知機能、負荷断線機能などを盛り込んだ安全機能がコントローラに装備されています。
機種一覧
 |
 |
 |
|
|
|---|---|---|---|---|
型番 |
PH225-5415 |
PH225-1202 |
PH225-250 |
PH225-2002 |
最高温度 |
150℃ | 200℃ | 200℃ | 400℃ |
真空度 |
20Pa程度 | |||
プレートサイズ |
550×400mm | 120×120mm | φ240mm | 200×200mm |
プレート材質 |
アルミ合金 | |||
電源電圧 |
AC200V | AC200または100V | AC200V | AC200Vまたは100V |
適合温度
|
PCC118HV-TP | |||
コントローラ |
 |
|
||
オプション |
酸素濃度計、温度モニタ用センサ、
露点計、圧力コントロール、 排気トラップ（低融点材料対応）など |
|||
機種一覧
|
 |
|
 |
|
|---|---|---|---|---|
型番 |
PH225-2403 |
PH225-3304 |
PH225-2406 |
PH225-2407 |
最高温度 |
300℃ | 400℃ | 600℃ | 700℃ |
真空度 |
20Pa程度 | |||
プレートサイズ |
φ240mm | φ330mm | φ240mm | |
プレート材質 |
アルミ合金 | インコネル合金 | ||
電源電圧 |
AC200V | |||
適合温度
|
PCC118HV-TP | |||
コントローラ |
|
|
|
|
オプション |
酸素濃度計、温度モニタ用センサ、
露点計、圧力コントロール、 排気トラップ（低融点材料対応）など |
|||
