1. デジタルサーボプレス HE-DDシリーズ

  2. 撹拌機/SKシリーズ

  3. セラミックヒートステージ/ PXシリーズ

  4. 顕微鏡ヒートステージ/ PNシリーズ

  5. ウエハホットチャック/PH201シリーズ

  6. 真空チャンバー特注対応品 

  7. 小型温度チャンバー 小型ペルチェタイプ PGシリーズ

  8. リフター・カバー付きホットチャック/加熱炉 PA-LIFシリーズ

  9. セラミック加工品

  10. ダイコレット・吸着コレット カスタム品

  11. エッチング加工品

  12. 銅合金加工品

温度、サイズ、温調・安全機能
ワークに合わせた設計対応品 MSAファクトリー PHB-Cシリーズ/セラミックヒータ・ブロック

セラミック ヒートブロック ラインナップ

主な用途

セラミックタイプ ヒートブロック、高速昇温タイプです。形状はカスタム対応品ですので、ユーザ様のアプリケーションに合わせ製作いたします。

セラミック素材

高速昇温タイプの窒化アルミ(AlN)とセラミックのタイプで比較的安価なアルミナの2品種で製作可能です。

高速昇温

窒化アルミタイプでは、15℃/secの高速昇温が可能です。また、放射率も高いので、降温(自然冷却速度)も3℃/secと高速です。

高精度温度コントローラ

デジタル温度コントローラ/PCC100G、PCC400、プログラムタイプ温度コントローラ/PCC107 との組合せにより、高精度の温度制御を実施いたします。

安全性

>ヒータ設計、配線構造など安全性に考慮した製品に仕上げています。また、過昇温監視機能付のコントローラ/PCC110も用意しております。

 

製作実績

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タイプ
リングアルミナヒータ
窒化アルミ高速ヒータ 平面状
ブロック シャフト形状 加熱
耐荷重 ヒートプレート
最高温度
400℃ 600℃ 600℃ 200℃
プレートサイズ
φ70-mm 60×60mm 40×40mm φ200mm
プレート材質
窒化アルミ(600℃max)、アルミナ(200℃~400℃max)
温度分布
±2% ±1.5%
電源電圧
AC100V
オプション
安全ケース -CC
温度コントローラ
PCC100G,PCC107    その他OP
特長
セラミックタイプ(高速昇温)ヒートブロック カスタム対応品
参考価格(税別)
都度、お見積り
*コントローラ別途必要
都度、お見積り
*コントローラ別途必要
都度、お見積り
*コントローラ別途必要
都度、お見積り
*コントローラ別途必要