1. デジタルサーボプレス HE-DDシリーズ

  2. 撹拌機/SKシリーズ

  3. セラミックヒートステージ/ PXシリーズ

  4. 顕微鏡ヒートステージ/ PNシリーズ

  5. ウエハホットチャック/PH201シリーズ

  6. 真空チャンバー特注対応品 

  7. 小型温度チャンバー 小型ペルチェタイプ PGシリーズ

  8. リフター・カバー付きホットチャック/加熱炉 PA-LIFシリーズ

  9. セラミック加工品

  10. ダイコレット・吸着コレット カスタム品

  11. エッチング加工品

  12. 銅合金加工品

大型サイズホットプレート
カバー付き 超高温用ホットプレート

超高温 両方向ホットプレート 最高温度 1000℃までラインナップ

主な用途

ウエハ加熱をはじめ、材料のベーキング、評価等に最適です。空気加熱等に比較し、ホットプレートによる熱伝導での加熱ですので、高速・短時間での熱処理、ベークが可能です。最高温度 850℃と1000℃まで、また、サイズは □85mm、□200mmの2サイズを取り揃えています。石英製ベルジャーもオプション対応ありますので、材料のガス置換加熱にもご使用いただけます。

MSAファクトリー 加熱ノウハウ

素材(超耐熱プレート、熱歪対策、チタン製シャーシ)ヒータ設計、断熱、熱輻射など様々なノウハウを結集しております。

高性能・多機能温度コントローラ

タッチパネル式温度コントローラ(PCC118-W-TP)は、高精度の温度コントロールの他、安全性の監視、温度データ取得など、様々な機能がございます。

安全性

過昇温監視機能、非常停止機能、漏電検知機能、負荷断線機能などを盛り込んだ安全機能がコントローラ(PCC118-W-TP)に装備されています。

 

引き出し式で下側ホットプレートが、手前側に引き出せます。

 

石英ガラス ベルジャー 石英ガラス内にワークを入れ、ガス置換等を実施し、加熱ができます。

機種一覧

型番
RP8008
RP8020
RP10008
RP10020
最高温度
850℃ 1000℃
プレートサイズ
80×80mm 220×220mm 80×80mm 220×220mm
プレート材質
超耐熱合金
電源電圧
AC100V AC200V
オプション
石英ガラスベルジャー、
不活性ガス雰囲気、
ベルジャーハンドリングジグ
適合温度
コントローラ
PCC100G、PCC118-W-TP
特長
両面加熱ホットプレート構造で
高温まで高速加熱
超高温1000℃まで対応、
石英ガラス、不活性雰囲気での加熱

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