1. デジタルサーボプレス HE-DDシリーズ

  2. 撹拌機/SKシリーズ

  3. セラミックヒートステージ/ PXシリーズ

  4. 顕微鏡ヒートステージ/ PNシリーズ

  5. ウエハホットチャック/PH201シリーズ

  6. 真空チャンバー特注対応品 

  7. 小型温度チャンバー 小型ペルチェタイプ PGシリーズ

  8. リフター・カバー付きホットチャック/加熱炉 PA-LIFシリーズ

  9. セラミック加工品

  10. ダイコレット・吸着コレット カスタム品

  11. エッチング加工品

  12. 銅合金加工品

吸着ステージ THVシリーズ

薄型・吸着ステージ

吸着用 ステージ

吸着方式

スルーホール:吸着孔を吸着箇所に配置し、バキュームポンプの負圧力により、ワークを吸着いたします。もっとも吸着力が高い吸着方式です。

Vミゾ:ワークのサイズに依存せずに吸着することができます。多種のワークサイズに対応する必要がある場合には適したチャック方式です。

多孔質セラミック:ワークが極めて薄い場合には、ワークへの変形などを生じさせないチャック方式です。

多軸構成 MSA-マルチステージ

MSAマルチステージ(多軸カスタマイズ)対応品 他の軸駆動ステージと組み合わせて、貴社のアプリケーションにあわせたステージを用意いたします

機種一覧  THVシリーズ (ワーク吸着・チャックステージ)

型番
THV-T
THV-V
THV-C
ステージサイズ
100×100~300×300m
吸着方式
スルーホール吸着 V溝吸着 多孔質セラミック
推奨真空ポンプ
都度、選定

 

一覧に戻る