真空環境・真空ホットチャンバー

作成日 msafactoryweb4
PH224
真空ホットプレートチャンバー/PH224

超小型 自動真空ホットプレートチャンバー

PH224S-120 PH224S-200 PH224S-42
特徴・仕様 最高温度 400°C
プレートサイズ□120mm
温度分布 ±1.5%真空度 10-50Pa程度バルブシーケンス自動制御
最高温度 400°C
プレートサイズ□200mm
温度分布 ±1.5%真空度 10-50Pa程度バルブシーケンス自動制御
最高温度 300°C
プレートサイズ430×270mm
温度分布 ±1.5%真空度 10-50Pa程度バルブシーケンス自動制御
PH224-con11 専用コントローラ

温度制御:プログラム温度制御、レシピ登録、管理、ステータスモニター、データ保存機能

バルブ操作シーケンス機能

専用コントローラ

温度制御:プログラム温度制御、レシピ登録、管理、ステータスモニター、データ保存機能

バルブ操作シーケンス機能

専用コントローラ

温度制御:プログラム温度制御、レシピ登録、管理、ステータスモニター、データ保存機能

バルブ操作シーケンス機能

オプション 酸素濃度計、真空ポンプ排気速度変更、ガス系増設、ソフトウェア機能、リフタ機能、ウエハ加熱用形状 酸素濃度計、真空ポンプ排気速度変更、ガス系増設、ソフトウェア機能、リフタ機能、ウエハ加熱用形状 酸素濃度計、真空ポンプ排気速度変更、ガス系増設、ソフトウェア機能、リフタ機能、ウエハ加熱用形状
カタログ PH224S_200 PH224S_200 PH224S_42
価格(税別) 120-280万円 120-300万円 200-400万円円
納期  4-8週間程度  4-8週間程度  4-8週間程度
PH224 PH224S-200_2000_1200 PH224_42_2000_1200

超小型 手動バルブ操作式 真空ホットプレートチャンバー

PH222 PH221 PH224D PH224D-120
特徴・仕様 最高温度 400°C
プレートサイズ□100mm
真空度 100-200Pa程度
AC100V,400W
温度分布 ±1.5%
最高温度 200°C
プレートサイズ□150mm
真空度 100-500Pa程度
AC100V,200W
温度分布 ±1.5%
最高温度 200°C
プレートサイズ□200mm
真空度 100-500Pa
AC100V,1000W
温度分布 ±1.5%
最高温度 400°C
プレートサイズ□120mm
真空度 10-100Pa
AC100V,500W
温度分布 ±1.5%
Web用02

温度
コントローラ

PCC100-10A
/定値

PCC107-10A
/プログラム

温度
コントローラ

PCC100-10A
/定値
PCC107-10A
/プログラム

温度
コントローラ

PCC100-10A
/定値、流量計付

PCC107-10A
/プログラム、流量計付

温度
コントローラ

PCC100-FL
/定値、流量計付

PCC107-FL
/プログラム、流量計付

本体価格(税別) 450,000円 285,000円 550,000円 1,150,000円
納期 25日程度 25日程度 30日程度 45日程度
PH222_2000_1200 PH221_2000_1200 PH224D_2000_1200 PH224

高真空環境用ホットプレート

PH220H_2000_1200

PH220D-3006 PH220D-2010W PH220D-2010 PH220-4015
特徴・仕様 最高温度 200°C
プレートサイズφ60mm
真空度 10×-5Pa
AC100V,400W
温度分布 ±1.5%フランジVCR、スエジロック
最高温度 300°C
プレートサイズφ60mm
真空度 10×-5Pa
AC100V,400W
温度分布 ±1.5%フランジVCR、スエジロック
最高温度 200°C
プレートサイズφ100mm    真空度 10×-5Pa
AC100V,600W
温度分布 ±1.5%フランジVCR、スエジロック
最高温度 400°C
プレートサイズ□150mm
真空度 0.1-10×-3PaPa程度
AC100V,1.2KW
温度分布 ±0.75%
Web用02

温度
コントローラ

PCC100-10A
/定値

PCC107-10A
/プログラム

温度
コントローラ

PCC100-10A
/定値

PCC107-10A
/プログラム

温度
コントローラ

PCC100-10A
/定値

PCC107-10A
/プログラム

温度
コントローラ

PCC100-15A
/定値

PCC107-15A
/プログラム

本体価格(税別) 325,000円 345,000円 325,000円 285,000円
納期 45日程度 45日程度 45日程度 45日程度
PH220D-2010W_2000_1200 PH220H_2000_1200 PH220D-2010_2000_1200
PH220-6030
特徴・仕様 最高温度 600°C
プレートサイズ□300mm
真空度 0.1-10×-3PaPa程度
AC200V,4KW
温度分布 ±0.75%
Web用02

温度
コントローラ

PCC400
/定値

PCC407
/プログラム

本体価格(税別) 835,000円
納期 60日程度
PH220-6030

低真空環境用ホットプレート

PH220S-100 PH220S-200 PCC151
特徴・仕様 最高温度 400°C
プレートサイズ50×100mm
真空度 0.1-100Pa程度
AC100V,400W
温度分布 ±0.75%
最高温度 400°C
プレートサイズ200×200mm
真空度 0.1-100Pa程度
AC100V,400W
温度分布 ±0.75%
真空ホットプレート用導通ケーブル    チャンバー内ホットプレートとの接続用ケーブル         フランジタイプ NW、VF,VG等
PCC100F

温度コントローラPCC100-15A
/定値PCC107-15A
/プログラム     監視機能付きコントローラー PCC110

温度コントローラPCC100-15A
/定値PCC107-15A
/プログラム     監視機能付きコントローラー PCC110

本体価格(税別) 185,000円 285,000円
納期 30日程度 30日程度 20日程度
PH220S_42_ PH220S_42_ PCC151_

真空環境 遠赤外線ホットプレート

PH220S-100 PCC151
特徴・仕様 最高温度 200°C
プレートサイズ300×300mm
真空度 0.1-100Pa程度
AC200V,3KW
温度分布 ±0.75%
真空ホットプレート用導通ケーブル    チャンバー内ホットプレートとの接続用ケーブル         フランジタイプ NW、VF,VG等
PCC100F

温度コントローラPCC100-15A
/定値PCC107-15A
/プログラム     監視機能付きコントローラー PCC110

本体価格(税別) 658,000円 65,000-125,000円
納期 45日程度 20日程度
PA2030_IR PCC151_


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