セラミックウエハホットチャック サイズカスタム対応 最高温度 600℃まで の高精度・平面度ウエハチャック
ウエハプロセス（成膜、エッチングプロセス用）、ウエハ信頼性試験、ウエハ特性試験用途
Main applications
Wafer temperature characteristic test, probe mounting hot chuck, glass chuck, board electrical characteristic test
Digital Temperature Controller
Connects to MSA Factory standard temperature controller with one-touch connector. High-precision temperature control can be performed immediately with simple operation. C100_SG
Universal zipper pattern
Standard suction pattern: If you place the workpiece in the central suction hole, the size is universal. For example, if the chuck is 6", it can be used with any size under 6", 4", 3".
セラミック
窒化アルミ／AlN、炭化ケイ素SiC などでのホットチャック製作が可能です。
高精度平面度、平坦度
セラミックによる高温時の平面度、平坦度を確保しております。
Chuck surface Conductive/insulating/leak
The chuck surface is available in two types: gold-plated (200°C) conductive and anodized (200°C) insulating.
