セラミックウエハホットチャック　サイズカスタム対応　　最高温度　600℃まで　の高精度・平面度ウエハチャック

ウエハプロセス（成膜、エッチングプロセス用）、ウエハ信頼性試験、ウエハ特性試験用途

 

主な用途

ウエハ用　温度特性試験、プローブ搭載用ホットチャック　ガラスチャック、基板電気特性試験

デジタル温度コントローラ

MSAファクトリー　標準温度コントローラとワンタッチコネクタで接続いたします。高精度な温度コントロールが簡単な操作ですぐに行えます。C100_SG

チャックパターンのユニバーサルパターン

標準吸着パターン：中心の吸着孔にワークを置けば、サイズはユニバーサル対応。例：６”仕様のチャックであれば、６”、４”、３”と６”以下のサイズであればいずれにも使用可能です。

セラミック

窒化アルミ／AlN、炭化ケイ素SiC　などでのホットチャック製作が可能です。

高精度平面度、平坦度

セラミックによる高温時の平面度、平坦度を確保しております。

 

チャック面　導電性／絶縁性／リーク

チャック面は、金メッキ仕様（200℃）導電性仕様と、アルマイト処理（200℃）絶縁性仕様の２パターンです。