1. デジタルサーボプレス HE-DDシリーズ

  2. 撹拌機/SKシリーズ

  3. セラミックヒートステージ/ PXシリーズ

  4. 顕微鏡ヒートステージ/ PNシリーズ

  5. ウエハホットチャック/PH201シリーズ

  6. 真空チャンバー特注対応品 

  7. 小型温度チャンバー 小型ペルチェタイプ PGシリーズ

  8. リフター・カバー付きホットチャック/加熱炉 PA-LIFシリーズ

  9. セラミック加工品

  10. ダイコレット・吸着コレット カスタム品

  11. エッチング加工品

  12. 銅合金加工品

ウエハ用ホットチャック
スタンダード PH201シリーズ

ウエハホットチャック サイズ 4”/6”ウエハ対応  最高温度 200℃まで のスタンダードウエハチャック

主な用途

ウエハ用 温度特性試験、プローブ搭載用ホットチャック ガラスチャック、基板電気特性試験

デジタル温度コントローラ

MSAファクトリー 標準温度コントローラとワンタッチコネクタで接続いたします。高精度な温度コントロールが簡単な操作ですぐに行えます。C100_SG

チャックパターンのユニバーサルパターン

標準吸着パターン:中心の吸着孔にワークを置けば、サイズはユニバーサル対応。例:6”仕様のチャックであれば、6”、4”、3”と6”以下のサイズであればいずれにも使用可能です。

チャック面 導電性/絶縁性/リーク

チャック面は、金メッキ仕様(200℃)導電性仕様と、アルマイト処理(200℃)絶縁性仕様の2パターンです。

機種一覧

型番
PH201-S-04
PH201-K-04
PH201-S-06
PH201-K-06
最高温度
200℃ 200℃ 200℃ 200℃
プレートサイズ
4" 6”
プレート材質
アルミ合金
表面処理
金メッキ 黒アルマイト 金メッキ 黒アルマイト
電源電圧
AC100V
オプション
プローバ取付用アダプタ(カスタマイズ対応)
適合温度
コントローラ
PCC100G、PCC107
特長
標準構成
本体価格(税別)
325,000円 285,000円 395,000円 355,000円

資料ダウンロード