1. デジタルサーボプレス HE-DDシリーズ

  2. 撹拌機/SKシリーズ

  3. 顕微鏡ヒートステージ/ PNシリーズ

  4. ウエハホットチャック/PH201シリーズ

  5. 真空チャンバー特注対応品 

  6. 小型温度チャンバー 小型ペルチェタイプ PGシリーズ

  7. リフター・カバー付きホットチャック/加熱炉 PA-LIFシリーズ

  8. セラミック加工品

  9. 銅合金加工品

  10. 機械加工/マシニング、フライス、旋盤加工

  11. ホモジナイザー・分散用ステージ/ASシリーズ

  12. 空気温調ユニット/PFシリーズ

大型基板・ガラスホットチャック 
リフター付き、カバー付き 大型基板ガラス等の加熱、ベーキング、

超高温 カバー付きホットプレート 最高温度 1000℃までラインナップ

主な用途

大型基板、ガラス加熱用 リフター、カバー付きホットプレート PA-LIFシリーズの他、ウエハ加熱(RPシリーズ)、材表研究・評価、無機材料熱処理、耐熱性評価、ベーキング等、RPシリーズには、両面加熱や石英製ベルジャーもオプション対応ありますので、材料のガス置換加熱にもご使用いただけます。

MSAファクトリー 加熱ノウハウ

素材(超耐熱プレート、熱歪対策、チタン製シャーシ)ヒータ設計、断熱、熱輻射など様々なノウハウを結集しております。

高性能・多機能

大型基板の加熱搬送用にリフター機能(基板の上下駆動)、基板の加熱時の反り対応としての真空チャック機能などカスタムで追加可能です。

安全性

過昇温監視機能、非常停止機能、漏電検知機能、負荷断線機能などを盛り込んだ安全機能がコントローラに装備されています。

機種一覧

型番
PA2560-LIF
PA4060-LIF
PA8020-LIF
RP10020
最高温度
250℃ 400℃ 800℃ 1000℃
プレート
サイズ
600×600mm 600×600mm 220×220mm 220×220mm
プレート
材質
アルミ合金 超耐熱合金
電源電圧
AC200V
オプション
電動リフター、
真空吸着
電動リフター、
真空吸着、
電動搬送面
シャッター
電動リフター 両面加熱機能
特長
手動断熱カバー
付き、他は自動運転
での処理が可能
搬送部、横出し、
搬送ロボット
対応タイプ
超高温800℃まで対応
超高温1000℃まで
対応、石英ガラス
不活性雰囲気での加熱
温度
コント
ローラ
PCC118-LIF-TP、
タッチパネル
モニターアーム式
PCC118-LIF-TP PCC118-LIF-TP PCC118-W-TP

 

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