1. デジタルサーボプレス HE-DDシリーズ

  2. 撹拌機/SKシリーズ

  3. セラミックヒートステージ/ PXシリーズ

  4. 顕微鏡ヒートステージ/ PNシリーズ

  5. ウエハホットチャック/PH201シリーズ

  6. 真空チャンバー特注対応品 

  7. 小型温度チャンバー 小型ペルチェタイプ PGシリーズ

  8. リフター・カバー付きホットチャック/加熱炉 PA-LIFシリーズ

  9. セラミック加工品

  10. ダイコレット・吸着コレット カスタム品

  11. エッチング加工品

  12. 銅合金加工品

真空チャンバー ホットチャンバー 真空はんだ付け装置
特注対応品のご紹介

特注対応 真空ホットプレートチャンバー PH225 最高温度 800℃まで

主な用途

真空加熱用実験器具として、また、真空ベーク、真空乾燥炉、真空加熱プロセス 開発評価機器としてご使用いただけます。

MSAファクトリー 加熱・真空・モーションコントロール ノウハウ

加熱:800℃までの真空加熱、真空圧制御:マスフロー、バルブコンダクタンス制御、モーションコントロール:真空環境での駆動技術など様々なノウハウを結集しております。

シンプルな本体+豊富なオプションにより様々なアプリケーションに対応

特殊仕様で、最高温度800℃まで対応可能です。駆動装置を槽内に盛り込むことも対応しています。

シンプルな構成により、高温・真空プロセスの構築が可能です。また、豊富なオプション、カスタム対応により、御社に最適な機種構築が可能です。

高性能

ホットプレート加熱ですので、均一な加熱が可能です。ワークの処理時間も短時間で、従来プロセスとの時間をぜひ、比較してください。

安全性

オプションにて、過昇温監視機能、漏電検知機能、負荷断線機能などを盛り込んだ安全機能をコントローラ追加することも可能です。

 

 

石英ベルジャー オプション

機種一覧

型番
PH227-D
PH225-Cust
PH227-400
PH222-Cust
最高温度
800℃ 700℃ 300℃
プレートサイズ
φ120mm φ240mm 400×250mm 150×150m
プレート材質
超耐熱合金 超耐熱合金 アルミ合金
電源電圧
AC200V AC100V
適合温度コントローラ
PCC118HV-TP/タッチパネル(モノクロ またはカラー)   PCC100G/PCC107(通常コントローラ)
特長
円形タイプの
シンプル真空チャンバー
超高温加熱対応
円形タイプ
超高温加熱対応、多彩なオプション対応
長方形タイプ
卓上設置タイプ
真空ホットチャンバー
バルブ操作手動式での
特注対応タイプ
コントローラ
オプション
真空圧制御、マスフローコントロール、プラズマ用電極等
酸素濃度計、
温度モニタ用センサ、
露点計、
圧力コントロール、
排気トラップ
(低融点材料対応)、
圧力制御など

 

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