ウエハホットチャック　サイズ　□５０ｍｍ~□300ｍｍ、　最高温度　400℃までラインナップ　のカスタマイズ対応チャック

Main applications

Wafer temperature characteristic test, probe mounting hot chuck, glass chuck, board electrical characteristic test

Digital Temperature Controller

Connects to MSA FACTORY standard temperature controllers with a one-touch connector. PCC100_SG

チャックパターンのカスタマイズ対応

標準吸着パターン：中心の吸着孔にワークを置けば、サイズはユニバーサル対応（例：６”仕様のチャックであれば、６”、４”、３”と６”以下のサイズであればいずれにも使用可能です）、その他、ご指定のチャックパターン（吸着位置の指定など）があればカスタマイズいたします。

Chuck surface Conductive/insulating/leak

チャック面は、金メッキ仕様（200℃まで）、ニッケルメッキ仕様（400℃まで）などの導電性仕様のほか、アルマイト処理（400℃）、アルミナコーティングなどの絶縁仕様がございます。チャック面は、GND端子付きですので、計測器等のGNDと接続いただけます。

model number	PH050	PH070	PH101	PH101-TIN
Max. temperature	300℃	300℃	200℃	300℃
Plate size	30×40mm	70×70mm	100 x 100mm	100×100ｍｍ
Plate Material	aluminum alloy
Surface Treatment	黒アルマイト処理			SiO蒸着膜
Supply voltage	AC100V
Applicable Temperature Controller	PCC100G、PCC107
forte	最小サイズ ホットチャック、 レーザマーキング マーカ付き	レーザマーキング マーカ付き		SiO蒸着膜処理
Price (excluding tax)	-	-	-	-

model number	PH201-O	PH201-C	PH302	PH101-T
Max. temperature	200℃	200、400℃	200℃	300℃
Plate size	4～6”	70×70mm	250×250mm	4"
Plate Material	aluminum alloy
Surface Treatment	黒アルマイト処理	金メッキ処理	黒アルマイト処理	金メッキ処理
Supply voltage	AC100V
Applicable Temperature Controller	PCC100G、PCC107
forte	メカニカルクランプ バキュームチャック	金メッキ処理、 ホットプレート部 絶縁処理、空冷 （圧縮エアー使用） 機能		メカニカル クランプ機能付き、 金メッキ処理、 ホットプレート 部絶縁処理
Price (excluding tax)	-	-	-	-