ウエハホットチャック　サイズ　□５０ｍｍ~□300ｍｍ、　最高温度　400℃までラインナップ　のカスタマイズ対応チャック

主な用途

ウエハ用　温度特性試験、プローブ搭載用ホットチャック　ガラスチャック、基板電気特性試験

デジタル温度コントローラ

MSAファクトリー　標準温度コントローラとワンタッチコネクタで接続いたします。高精度な温度コントロールが簡単な操作ですぐに行えます。PCC100_SG

チャックパターンのカスタマイズ対応

標準吸着パターン：中心の吸着孔にワークを置けば、サイズはユニバーサル対応（例：６”仕様のチャックであれば、６”、４”、３”と６”以下のサイズであればいずれにも使用可能です）、その他、ご指定のチャックパターン（吸着位置の指定など）があればカスタマイズいたします。

チャック面　導電性／絶縁性／リーク

チャック面は、金メッキ仕様（200℃まで）、ニッケルメッキ仕様（400℃まで）などの導電性仕様のほか、アルマイト処理（400℃）、アルミナコーティングなどの絶縁仕様がございます。チャック面は、GND端子付きですので、計測器等のGNDと接続いただけます。

型番	PH050	PH070	PH101	PH101-TIN
最高温度	300℃	300℃	200℃	300℃
プレートサイズ	30×40mm	70×70mm	100×100mm	100×100ｍｍ
プレート材質	アルミ合金
表面処理	黒アルマイト処理			SiO蒸着膜
電源電圧	AC100V
適合温度 コントローラ	PCC100G、PCC107
特長	最小サイズ ホットチャック、 レーザマーキング マーカ付き	レーザマーキング マーカ付き		SiO蒸着膜処理
本体価格（税別）	―	―	―	―

型番	PH201-O	PH201-C	PH302	PH101-T
最高温度	200℃	200、400℃	200℃	300℃
プレートサイズ	4～6”	70×70mm	250×250mm	4"
プレート材質	アルミ合金
表面処理	黒アルマイト処理	金メッキ処理	黒アルマイト処理	金メッキ処理
電源電圧	AC100V
適合温度 コントローラ	PCC100G、PCC107
特長	メカニカルクランプ バキュームチャック	金メッキ処理、 ホットプレート部 絶縁処理、空冷 （圧縮エアー使用） 機能		メカニカル クランプ機能付き、 金メッキ処理、 ホットプレート 部絶縁処理
本体価格（税別）	―	―	―	―