1. デジタルサーボプレス HE-DDシリーズ

  2. 撹拌機/SKシリーズ

  3. セラミックヒートステージ/ PXシリーズ

  4. 顕微鏡ヒートステージ/ PNシリーズ

  5. ウエハホットチャック/PH201シリーズ

  6. 真空チャンバー特注対応品 

  7. 小型温度チャンバー 小型ペルチェタイプ PGシリーズ

  8. リフター・カバー付きホットチャック/加熱炉 PA-LIFシリーズ

  9. セラミック加工品

  10. ダイコレット・吸着コレット カスタム品

  11. エッチング加工品

  12. 銅合金加工品

フィルム用ホットチャック 多孔質セラミックチャック
PA-FC、PC-WPFCシリーズ

フィルムチャック(-FC) 防水機能付き(-WPFC)ラインナップ 最高温度 200℃

主な用途

フィルム・薄いガラス基板などの加熱工程に、最高温度200℃まで。

多孔質セラミックによる吸着機能/ポーラスチャック方式

多孔質セラミックによる吸着ですので、スルーホール(吸着孔)の孔径などがワークに影響いたしません。薄いフィルム状のワークも変形なく、均一な加熱を行えます。

防水機能付きもラインナップ -WPFCシリーズ

防水機能により、加熱工程+スプレーコーティングなどのプロセスにも対応するホットプレートです。

デジタル温度コントローラ

MSAファクトリー 標準温度コントローラとワンタッチコネクタで接続いたします。高精度な温度コントロールが簡単な操作ですぐに行えます。PCC100_SG

吸着用真空ポンプ

小型ダイヤフラムポンプで強力な吸着(チャック)が行えます。ポンプ付での構成で販売しております。

 

機種一覧

型番
PA2012-FC
PA2020-FC
PA2012-WPFC
PA2020-WPFC
PA2045-FC
最高温度
200℃ 200℃ 200℃ 200℃ 200℃
プレート
サイズ
□120mm □200mm □120mm □200mm 450×300mm
プレート材質
多孔質セラミック(アルミナ)、ポーラスチャック
電源電圧
AC100V
オプション
吸着用真空ポンプ、継手付き
適合温度
コントローラ
PCC100G、PCC107Co
特長
多孔質セラミック吸着ホットチャック
多孔質セラミック吸着ホットチャック
防水タイプ
多孔質
セラミック
吸着ホット
チャック
価格(税別、
コントローラ
セット価格)
425,000円/
コントローラPCC100G
525,000円/
コントローラPCC100G
455,000円/
コントローラPCC100G
560,000円/
コントローラPCC100G
950,000円/
コントローラPCC100G

 

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