1. デジタルサーボプレス HE-DDシリーズ

  2. 撹拌機/SKシリーズ

  3. セラミックヒートステージ/ PXシリーズ

  4. 顕微鏡ヒートステージ/ PNシリーズ

  5. ウエハホットチャック/PH201シリーズ

  6. 真空チャンバー特注対応品 

  7. 小型温度チャンバー 小型ペルチェタイプ PGシリーズ

  8. リフター・カバー付きホットチャック/加熱炉 PA-LIFシリーズ

  9. セラミック加工品

  10. ダイコレット・吸着コレット カスタム品

  11. エッチング加工品

  12. 銅合金加工品

ウエハ用ホットチャック
PHシリーズ

ウエハホットチャック サイズ □50mm~□300mm、 最高温度 400℃までラインナップ のカスタマイズ対応チャック

主な用途

ウエハ用 温度特性試験、プローブ搭載用ホットチャック ガラスチャック、基板電気特性試験

デジタル温度コントローラ

MSAファクトリー 標準温度コントローラとワンタッチコネクタで接続いたします。高精度な温度コントロールが簡単な操作ですぐに行えます。PCC100_SG

チャックパターンのカスタマイズ対応

標準吸着パターン:中心の吸着孔にワークを置けば、サイズはユニバーサル対応(例:6”仕様のチャックであれば、6”、4”、3”と6”以下のサイズであればいずれにも使用可能です)、その他、ご指定のチャックパターン(吸着位置の指定など)があればカスタマイズいたします。

チャック面 導電性/絶縁性/リーク

チャック面は、金メッキ仕様(200℃まで)、ニッケルメッキ仕様(400℃まで)などの導電性仕様のほか、アルマイト処理(400℃)、アルミナコーティングなどの絶縁仕様がございます。チャック面は、GND端子付きですので、計測器等のGNDと接続いただけます。

 

 

 

機種一覧・カスタマイズ例

型番
PH050
PH070
PH101
PH101-TIN
最高温度
300℃ 300℃ 200℃ 300℃
プレートサイズ
30×40mm 70×70mm 100×100mm 100×100mm
プレート材質
アルミ合金
表面処理
黒アルマイト処理 SiO蒸着膜
電源電圧
AC100V
適合温度
コントローラ
PCC100G、PCC107
特長
最小サイズ
ホットチャック、
レーザマーキング
マーカ付き
レーザマーキング
マーカ付き
SiO蒸着膜処理
本体価格(税別)

機種一覧・カスタマイズ例

型番
PH201-O
PH201-C
PH302
PH101-T
最高温度
200℃ 200、400℃ 200℃ 300℃
プレートサイズ
4~6” 70×70mm 250×250mm 4"
プレート材質
アルミ合金
表面処理
黒アルマイト処理 金メッキ処理 黒アルマイト処理 金メッキ処理
電源電圧
AC100V
適合温度
コントローラ
PCC100G、PCC107
特長
メカニカルクランプ
バキュームチャック
金メッキ処理、
ホットプレート部
絶縁処理、空冷
(圧縮エアー使用)
機能
メカニカル
クランプ機能付き、
金メッキ処理、
ホットプレート
部絶縁処理
本体価格(税別)

 

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