1. デジタルサーボプレス HE-DDシリーズ

  2. 撹拌機/SKシリーズ

  3. セラミックヒートステージ/ PXシリーズ

  4. 顕微鏡ヒートステージ/ PNシリーズ

  5. ウエハホットチャック/PH201シリーズ

  6. 真空チャンバー特注対応品 

  7. 小型温度チャンバー 小型ペルチェタイプ PGシリーズ

  8. リフター・カバー付きホットチャック/加熱炉 PA-LIFシリーズ

  9. セラミック加工品

  10. ダイコレット・吸着コレット カスタム品

  11. エッチング加工品

  12. 銅合金加工品

ウエハ用ホットチャック
PHシリーズ

ウエハホットチャック サイズ □50mm~□300mm、 最高温度 400℃までラインナップ のカスタマイズ対応チャック

主な用途

ウエハ用 温度特性試験、プローブ搭載用ホットチャック ガラスチャック、基板電気特性試験

デジタル温度コントローラ

MSAファクトリー 標準温度コントローラとワンタッチコネクタで接続いたします。高精度な温度コントロールが簡単な操作ですぐに行えます。PCC100_SG

チャックパターンのカスタマイズ対応

標準吸着パターン:中心の吸着孔にワークを置けば、サイズはユニバーサル対応(例:6”仕様のチャックであれば、6”、4”、3”と6”以下のサイズであればいずれにも使用可能です)、その他、ご指定のチャックパターン(吸着位置の指定など)があればカスタマイズいたします。

チャック面 導電性/絶縁性/リーク

チャック面は、金メッキ仕様(200℃まで)、ニッケルメッキ仕様(400℃まで)などの導電性仕様のほか、アルマイト処理(400℃)、アルミナコーティングなどの絶縁仕様がございます。チャック面は、GND端子付きですので、計測器等のGNDと接続いただけます。

 

 

 

機種一覧・カスタマイズ例

型番
PH050
PH070
PH101
PH101-TIN
最高温度
300℃ 300℃ 200℃ 300℃
プレートサイズ
30×40mm 70×70mm 100×100mm 100×100mm
プレート材質
アルミ合金
表面処理
黒アルマイト処理 SiO蒸着膜
電源電圧
AC100V
適合温度
コントローラ
PCC100G、PCC107
特長
最小サイズ
ホットチャック、
レーザマーキング
マーカ付き
レーザマーキング
マーカ付き
SiO蒸着膜処理
本体価格(税別)
185,000円 185,000円 195,000円 255,000円

機種一覧・カスタマイズ例

型番
PH201-O
PH201-C
PH302
PH101-T
最高温度
200℃ 200、400℃ 200℃ 300℃
プレートサイズ
4~6” 70×70mm 250×250mm 4"
プレート材質
アルミ合金
表面処理
黒アルマイト処理 金メッキ処理 黒アルマイト処理 金メッキ処理
電源電圧
AC100V
適合温度
コントローラ
PCC100G、PCC107
特長
メカニカルクランプ
バキュームチャック
金メッキ処理、
ホットプレート部
絶縁処理、空冷
(圧縮エアー使用)
機能
メカニカル
クランプ機能付き、
金メッキ処理、
ホットプレート
部絶縁処理
本体価格(税別)
265,000円 305,000円 385,000円 245,000円

 

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