1. デジタルサーボプレス HE-DDシリーズ

  2. 撹拌機/SKシリーズ

  3. セラミックヒートステージ/ PXシリーズ

  4. 顕微鏡ヒートステージ/ PNシリーズ

  5. ウエハホットチャック/PH201シリーズ

  6. 真空チャンバー特注対応品 

  7. 小型温度チャンバー 小型ペルチェタイプ PGシリーズ

  8. リフター・カバー付きホットチャック/加熱炉 PA-LIFシリーズ

  9. セラミック加工品

  10. ダイコレット・吸着コレット カスタム品

  11. エッチング加工品

  12. 銅合金加工品

小型温度チャンバー 小型ペルチェ
PGシリーズ

超小型・ペルチェ式温度チャンバー

高速 昇温・降温式温度チャンバー ペルチェ式薄型構造温度チャンバー

水冷式ペルチェの特長

空冷に比較し、低温までの到達 -40℃(空冷式は -10℃)また、急温度勾配(0.1℃~3℃/sec)でのプロファイルにも対応可能

内部パージ構造により結露レス

チャンバー内部へ、低露点空気またはN2ガスを流入させることにより、極低温下でも、サンプル等への結露は発生いたしません。正確な電気特性試験にもご使用いただけます。

低振動・低騒音

ペルチェ式ですので、振動、騒音は極めてすくない。*水冷チラーを使用しておりますので、チラー分の振動は発生いたしますが、チャンバーとは分離していますので、影響は軽微です。

光 透過性に対応

ガラス窓を1面 (オプションにより、透過タイプも対応可)設置しています。光学的なデバイス評価、小型温度試験システムを構築いただけます。また、MSAファクトリー 精密ステージとの組合せにより、精密位置決めが可能な温度ステージを構成いただけます。

カスタマイズ対応

確かな技術サポートによりカスタム対応品を短納期でご提供いたします。

 

 

機種一覧

型番
PG1506
PG1504
PG1506-OP1
PG1506-OP2
温度範囲
-40℃~+150℃
プレートサイズ
60×60mm 40×40mm 60×60mm
上扉ガラス
耐熱ガラス、ヒンジ扉開閉式
耐熱ガラス、
スライド着脱式扉
透過構造
オプション対応
電源電圧
AC100
オプション①
石英ガラス(ARコーテイング)、ワーク計測用温度センサ(最大5点)、他
オプション②
デバイス用
ガス封入、
電気特性
試験用基板、
インターフェース
電気特性基板、
プローブセット、
XY微小移動ステージ(IXY200)
コントローラおよび構成品
温度コントローラ/PCC-107PED-FL(プログラム式、N2ガス流量計付)、水冷循環式チラー
標準価格*
720,000円 720,000円 -円 -円
標準納期
20-30日程 30-60日程度 20-30日程度
関連資料
MSA温度チャンバー _デバイス_電気試験例
温度プロファイル
カタログ
PG1504
図面(PDF)
PC通信ソフトウェア PCS100-4ch

*1:価格に含まれる項目:本体、コントローラ、チラー、不凍液、配管、チューブ、ケーブル、送料
含まれない項目:立上げサポート(取説は添付しています)、ソフトウェア(PCS100-4ch)
ソフトウェアは、データ取得、温度プログラム作成、管理用です。ソフトウェアなしで単体でも動作いたします。

PGFシリーズ 見積もり依頼アズワン様より 本体・コントローラのみのご購入

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