真空環境ホットプレート　PH220　最高温度　600℃

主な用途

真空チャンバー内にて、ご使用いただけるホットプレート。

MSAファクトリー　真空加熱用ホットプレート

最高温度　600℃まで、真空圧　100Pa（低真空）から　10^-5Pa（高真空）までの真空範囲までラインナップ。

インターフェース

貴社のチャンバーへ取付可能なインターフェースを準備いたします。

高性能・高精度

温度分布、温度精度も優れた、真空環境専用ホットプレート

ケーブル・フィードスルー

各真空用フランジ（VF,VG、KF）に対応したケーブル、フィードするを用意しております。ケーブル長さもカスタマイズ可能です。

List of models

model number	PH220S-100	PH220S-6030	PH220D-2010W	PH224D-200
最高温度	400℃	600℃	300℃	300℃
Plate size	100×100、 200×200、400×200mm	100×100、150×150、 200×200、300×300mm	φ60mm	φ220mm
Plate Material	アルミ合金	銅合金	アルミ合金	アルミナ
Supply voltage	AC100または200V		AC100V
真空度	100-0.1Pa程度	10^-3Pa	10^-5	10^-3Pa
forte	低真空環境用 ホットプレート	高真空環境 ホットプレート、 温度範囲、サイズ など カスタマイズ範囲が 広い	高真空対応 ホットプレート、 配線（樹脂など） チャンバー内に 介在なし	セラミックタイプ 真空ホットプレート アウトガスなどが 非常に少ない
controller	PCC100G,PCC110,PCC107Co
外観
option	ケーブル・フィードスルー　VF,VG、KF		ケーブル・フィードスルー VF,VG	ケーブル・フィードスルー VF,VG、KF