真空環境ホットプレート PH220 最高温度 600℃
主な用途
真空チャンバー内にて、ご使用いただけるホットプレート。
MSAファクトリー 真空加熱用ホットプレート
最高温度 600℃まで、真空圧 100Pa（低真空）から 10^-5Pa（高真空）までの真空範囲までラインナップ。
インターフェース
貴社のチャンバーへ取付可能なインターフェースを準備いたします。
高性能・高精度
温度分布、温度精度も優れた、真空環境専用ホットプレート
ケーブル・フィードスルー
各真空用フランジ（VF,VG、KF）に対応したケーブル、フィードするを用意しております。ケーブル長さもカスタマイズ可能です。
機種一覧
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型番 |
PH220S-100 |
PH220S-6030 |
PH220D-2010W |
PH224D-200 |
最高温度 |
400℃ | 600℃ | 300℃ | 300℃ |
プレートサイズ |
100×100、
200×200、400×200mm |
100×100、150×150、
200×200、300×300mm |
φ60mm | φ220mm |
プレート材質 |
アルミ合金 | 銅合金 | アルミ合金 | アルミナ |
電源電圧 |
AC100または200V | AC100V | ||
真空度 |
100-0.1Pa程度 | 10^-3Pa | 10^-5 | 10^-3Pa |
特長 |
低真空環境用
ホットプレート |
高真空環境
ホットプレート、 温度範囲、サイズ など カスタマイズ範囲が 広い |
高真空対応
ホットプレート、 配線（樹脂など） チャンバー内に 介在なし |
セラミックタイプ
真空ホットプレート アウトガスなどが 非常に少ない |
コントローラ |
PCC100G,PCC110,PCC107Co | |||
外観 |
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オプション |
ケーブル・フィードスルー VF,VG、KF |
ケーブル・フィードスルー
VF,VG |
ケーブル・フィードスルー
VF,VG、KF |
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