超高温　両方向ホットプレート　最高温度　1000℃までラインナップ

主な用途

ウエハ加熱をはじめ、材料のベーキング、評価等に最適です。空気加熱等に比較し、ホットプレートによる熱伝導での加熱ですので、高速・短時間での熱処理、ベークが可能です。最高温度　850℃と1000℃まで、また、サイズは　□85mm、□200mmの２サイズを取り揃えています。石英製ベルジャーもオプション対応ありますので、材料のガス置換加熱にもご使用いただけます。

MSAファクトリー　加熱ノウハウ

素材（超耐熱プレート、熱歪対策、チタン製シャーシ）ヒータ設計、断熱、熱輻射など様々なノウハウを結集しております。

高性能・多機能温度コントローラ

タッチパネル式温度コントローラ（PCC118-W-TP）は、高精度の温度コントロールの他、安全性の監視、温度データ取得など、様々な機能がございます。

安全性

過昇温監視機能、非常停止機能、漏電検知機能、負荷断線機能などを盛り込んだ安全機能がコントローラ（PCC118-W-TP)に装備されています。

引き出し式で下側ホットプレートが、手前側に引き出せます。

石英ガラス　ベルジャー　石英ガラス内にワークを入れ、ガス置換等を実施し、加熱ができます。

機種一覧

型番	RP8008	RP8020	RP10008	RP10020
最高温度	850℃		1000℃
プレートサイズ	80×80mm	220×220mm	80×80mm	220×220mm
プレート材質	超耐熱合金
電源電圧	AC100V		AC200V
オプション	石英ガラスベルジャー、 不活性ガス雰囲気、 ベルジャーハンドリングジグ
適合温度 コントローラ	PCC100G、PCC118-W-TP
特長	両面加熱ホットプレート構造で 高温まで高速加熱		超高温1000℃まで対応、 石英ガラス、不活性雰囲気での加熱