1. デジタルサーボプレス HE-DDシリーズ

  2. 撹拌機/SKシリーズ

  3. 顕微鏡ヒートステージ/ PNシリーズ

  4. ウエハホットチャック/PH201シリーズ

  5. 真空チャンバー特注対応品 

  6. 小型温度チャンバー 小型ペルチェタイプ PGシリーズ

  7. リフター・カバー付きホットチャック/加熱炉 PA-LIFシリーズ

  8. セラミック加工品

  9. 銅合金加工品

  10. 機械加工/マシニング、フライス、旋盤加工

  11. ホモジナイザー・分散用ステージ/ASシリーズ

  12. 空気温調ユニット/PFシリーズ

真空環境対応ホットプレート
温度 200℃から 800℃まで  真空10Pa~10^1-5Paまで

真空環境ホットプレート PH220 最高温度 600℃

主な用途

真空チャンバー内にて、ご使用いただけるホットプレート。

MSAファクトリー 真空加熱用ホットプレート

最高温度 600℃まで、真空圧 100Pa(低真空)から 10^-5Pa(高真空)までの真空範囲までラインナップ。

インターフェース

貴社のチャンバーへ取付可能なインターフェースを準備いたします。

高性能・高精度

温度分布、温度精度も優れた、真空環境専用ホットプレート

ケーブル・フィードスルー

各真空用フランジ(VF,VG、KF)に対応したケーブル、フィードするを用意しております。ケーブル長さもカスタマイズ可能です。

 

機種一覧

型番
PH220S-100
PH220S-6030
PH220D-2010W
PH224D-200
最高温度
400℃ 600℃ 300℃ 300℃
プレートサイズ
100×100、
200×200、400×200mm
100×100、150×150、
200×200、300×300mm
φ60mm φ220mm
プレート材質
アルミ合金 銅合金 アルミ合金 アルミナ
電源電圧
AC100または200V AC100V
真空度
100-0.1Pa程度 10^-3Pa 10^-5 10^-3Pa
特長
低真空環境用
ホットプレート
高真空環境
ホットプレート、
温度範囲、サイズ
など
カスタマイズ範囲が
広い
高真空対応
ホットプレート、
配線(樹脂など)
チャンバー内に
介在なし
セラミックタイプ
真空ホットプレート
アウトガスなどが
非常に少ない
コントローラ
PCC100G,PCC110,PCC107Co
外観
オプション
ケーブル・フィードスルー VF,VG、KF
ケーブル・フィードスルー
VF,VG
ケーブル・フィードスルー
VF,VG、KF

 

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