薄型・吸着ステージ

吸着用　ステージ

吸着方式

スルーホール：吸着孔を吸着箇所に配置し、バキュームポンプの負圧力により、ワークを吸着いたします。もっとも吸着力が高い吸着方式です。

Vミゾ：中心のスルーホールから、一筆書きのVミゾを負圧にすることにより、ワークのサイズに依存せずに吸着することができます。多種のワークサイズに対応する必要がある場合には適したチャック方式です。

多孔質セラミック：ワークが極めて薄い場合（例えば、ガラス、フィルム状でミゾ、孔など）には、ワークへの変形などを生じさせないチャック方式です。

スルーホール、多孔質セラミック吸着は、ワークサイズとステージサイズ（吸着エリアサイズ）を合わせる必要があります。

MULTI-AXIS CONFIGURATION MSA-MULTI-STAGE

MSA MULTI-STAGE (MULTI-AXIS CUSTOMIZED) STAGES COMBINED WITH OTHER AXIS-DRIVEN STAGES, WE CAN PREPARE A STAGE TO SUIT YOUR APPLICATION.

機種一覧　　THVシリーズ　（ワーク吸着・チャックステージ）