薄型・吸着ステージ
吸着用 ステージ
吸着方式
スルーホール:吸着孔を吸着箇所に配置し、バキュームポンプの負圧力により、ワークを吸着いたします。もっとも吸着力が高い吸着方式です。
Vミゾ:中心のスルーホールから、一筆書きのVミゾを負圧にすることにより、ワークのサイズに依存せずに吸着することができます。多種のワークサイズに対応する必要がある場合には適したチャック方式です。
多孔質セラミック:ワークが極めて薄い場合(例えば、ガラス、フィルム状でミゾ、孔など)には、ワークへの変形などを生じさせないチャック方式です。
スルーホール、多孔質セラミック吸着は、ワークサイズとステージサイズ(吸着エリアサイズ)を合わせる必要があります。
多軸構成 MSA-マルチステージ
MSAマルチステージ(多軸カスタマイズ)対応品 他の軸駆動ステージと組み合わせて、貴社のアプリケーションにあわせたステージを用意いたします
機種一覧 THVシリーズ (ワーク吸着・チャックステージ)
型番 |
THV-T |
THV-V |
THV-C |
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ステージサイズ100×100mm |
THV-T100 | THV-V100 | THV-C100 |
ステージサイズ125×125mm |
THV-T125 | THV-V125 | THV-C125 |
吸着方式 |
スルーホール吸着 | V溝吸着 | 多孔質セラミック |
推奨真空ポンプ |
ドライポンプ、真空エジェクター |