薄型・吸着ステージ　吸着プレート

吸着用　ステージ/プレート

吸着方式

スルーホール：吸着孔を吸着箇所に配置し、バキュームポンプの負圧力により、ワークを吸着いたします。もっとも吸着力が高い吸着方式です。

Vミゾ：中心のスルーホールから、一筆書きのVミゾを負圧にすることにより、ワークのサイズに依存せずに吸着することができます。多種のワークサイズに対応する必要がある場合には適したチャック方式です。

多孔質セラミック：ワークが極めて薄い場合（例えば、ガラス、フィルム状でミゾ、孔など）には、ワークへの変形などを生じさせないチャック方式です。

スルーホール、多孔質セラミック吸着は、ワークサイズとステージサイズ（吸着エリアサイズ）を合わせる必要があります。

耐熱仕様・対応

ホットチャックで培った耐熱構造も対応可能です。標準200℃、特注で500℃までの耐熱仕様も製作可能です。サイズ、吸着方式により最高温度が異なりますので、お問合せをお願いいたします。

形状カスタム

位置決めピン孔、他ステージへの固定用孔などカスタム対応いたします。

真空吸着用コントローラ

吸着用コントローラも合わせて提供いたします。吸着ON／OFF、吸着圧、真空ポンプON/OFF、エジェクターなど、コントローラからの手元操作で吸着をコントロール。

多軸構成　MSA-マルチステージ

MSAマルチステージ（多軸カスタマイズ）対応品　他の軸駆動ステージと組み合わせて、貴社のアプリケーションにあわせたステージを用意いたします

スルー方式　チャック／位置決めピンはカスタマイズ対応　　THV-T200カスタム

多孔質セラミックチャック　100×100mmサイズ　　THV-C100

関連商品　　多孔質ホットチャック/最高温度200℃まで　　　こちら

関連商品　PH201K-06　金メッキ表面処理仕様　最高温度200℃　　こちら

機種一覧①　　THVシリーズ    吸着面□型　（ワーク吸着・チャックステージ）

機種一覧②　　THVシリーズ    吸着面　〇型　（ワーク吸着・チャックステージ）