吸着ステージ THVシリーズ

薄型・吸着ステージ

吸着用 ステージ

吸着方式

スルーホール:吸着孔を吸着箇所に配置し、バキュームポンプの負圧力により、ワークを吸着いたします。もっとも吸着力が高い吸着方式です。

Vミゾ:中心のスルーホールから、一筆書きのVミゾを負圧にすることにより、ワークのサイズに依存せずに吸着することができます。多種のワークサイズに対応する必要がある場合には適したチャック方式です。

多孔質セラミック:ワークが極めて薄い場合(例えば、ガラス、フィルム状でミゾ、孔など)には、ワークへの変形などを生じさせないチャック方式です。

スルーホール、多孔質セラミック吸着は、ワークサイズとステージサイズ(吸着エリアサイズ)を合わせる必要があります。

 

多軸構成 MSA-マルチステージ

MSAマルチステージ(多軸カスタマイズ)対応品 他の軸駆動ステージと組み合わせて、貴社のアプリケーションにあわせたステージを用意いたします

機種一覧  THVシリーズ (ワーク吸着・チャックステージ)

 

型番
THV-T
THV-V
THV-C
ステージサイズ

100×100mm

THV-T100 THV-V100 THV-C100
ステージサイズ

125×125mm

THV-T125 THV-V125 THV-C125
吸着方式
スルーホール吸着 V溝吸着 多孔質セラミック
推奨真空ポンプ
ドライポンプ、真空エジェクター

 

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