1. デジタルサーボプレス HE-DDシリーズ

  2. 撹拌機/SKシリーズ

  3. セラミックヒートステージ/ PXシリーズ

  4. 顕微鏡ヒートステージ/ PNシリーズ

  5. ウエハホットチャック/PH201シリーズ

  6. 真空チャンバー特注対応品 

  7. 小型温度チャンバー 小型ペルチェタイプ PGシリーズ

  8. リフター・カバー付きホットチャック/加熱炉 PA-LIFシリーズ

  9. セラミック加工品

  10. ダイコレット・吸着コレット カスタム品

  11. エッチング加工品

  12. 銅合金加工品

小型温度チャンバー 超小型卓上恒温槽
PGFシリーズ

超小型・卓上設置構造 光学機器・デバイス向け 恒温槽

世界最小サイズを目指した小型恒温槽  卓上、自動(手動)ステージ上への設置を目指し、最大限の小型・軽量化を実施

小型化の目的・狙い

従来の温度試験器では対応できないニーズの取り込み、ツール・ジグアウトでの試験を実現。従来にない高度・高精度の試験を実現できます

少風量による温度均一性・温度変化の実現

少ない空気風量での温度変化を実現しております。大型のコンプレッサーを不要とし、風量による振動、動きなどが影響するような温度試験に最適です

光 透過性に対応

ガラス窓を1面(最大 3面まで)設置しています。光学的なデバイス評価、小型温度試験システムを構築いただけます

 

機種一覧

型番
PGF3010-D80-1
PGF3010-D80-2
PGF3010-108-1
PGF3010-108-2
温度範囲
-30℃~+135℃ -40℃~+135℃ -30℃~+135℃ -40℃~+135℃
槽内サイズ
φ80×H50mm □100×H80mm
上扉ガラス
石英ガラス
透過構造
標準 オプション対応
電源電圧
AC100V
オプション
石英ガラス(ARコーテイング)、ワーク計測用温度センサ(最大5点)、他
コントローラおよび構成品
タッチパネル式温度コントローラ、水冷循環式チラー
特長
タッチパネルにて、
高精度温度制御
プログラムを構成
空冷ペルチェ方式、
ファン分離構造
(振動対策タイプ)
水冷ペルチェ方式
冷却機能付き
ホットプレート、
空冷ペルチェにて
冷却
標準価格
お問い合わせ願います。
標準納期
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