薄型・高強度ステージ
マイクロリニアガイドとマイクロメータヘッドによる超薄型XYステージ。ステージ厚み 34ｍｍ
製品の構成
サイズは、４種類、マイクロヘッドは標準の他に高精細駆動0.0005ｍｍ（0.5μｍ）タイプもオプションで用意
多軸構成 MSA-マルチステージ
MSAマルチステージ（多軸カスタマイズ）対応品 他の軸駆動ステージと組み合わせて、貴社のアプリケーションにあわせたステージを用意いたします
機種一覧 MZSシリーズ （Z１軸）
型番 |
MZS180 |
|---|---|
ステージサイズ |
180×150(mm) |
ストローク |
±20mm |
耐荷重 |
10kgf |
プレート・駆動部材質 |
プレート：アルミ/駆動部：鉄・ステンレスなど
|
重量 |
約5kg |
定価(税別) |
― |
機種一覧 MZS-SHXシリーズ（Z1軸、X１軸）
型番 |
MZS－SHX150 |
MZS-SHX200 |
MZS-SHX250 |
|---|---|---|---|
ステージ
|
150×150(mm) | 200×200(mm) | 250×250(mm) |
ストローク
|
70ｍｍ（±35mm) | 70ｍｍ（±35mm) | 60ｍｍ（±30mm) |
ストローク
|
40ｍｍ | 40ｍｍ | 40ｍｍ |
耐荷重 |
10kgf | ||
機能 |
Z,X軸 ロック付き | ||
プレート・
|
プレート：アルミ/駆動部：鉄・ステンレスなど | ||
重量 |
約5kg | 約8kg | 約12kg |
定価(税別) |
― | ― | ― |
