1. デジタルサーボプレス HE-DDシリーズ

  2. 撹拌機/SKシリーズ

  3. セラミックヒートステージ/ PXシリーズ

  4. 顕微鏡ヒートステージ/ PNシリーズ

  5. ウエハホットチャック/PH201シリーズ

  6. 真空チャンバー特注対応品 

  7. 小型温度チャンバー 小型ペルチェタイプ PGシリーズ

  8. リフター・カバー付きホットチャック/加熱炉 PA-LIFシリーズ

  9. セラミック加工品

  10. ダイコレット・吸着コレット カスタム品

  11. エッチング加工品

  12. 銅合金加工品

薄型 ウエハ用 回転ステージ
MSSシリーズ

θ回転ステージ

ウエハ対応θ回転ステージ

多軸構成 MSA-マルチステージ

MSAマルチステージ(多軸カスタマイズ)対応品 他の軸駆動ステージと組み合わせて、貴社のアプリケーションにあわせたステージを用意いたします

機種一覧  MSSシリーズ (θ回転)

型番
MSS175
MSS225
MSS250
MSS300
ステージサイズ
φ175mm φ225mm φ250mm φ300mm
対象ウエハサイズ
6/5/4” 8/6/5” 8/6/4” 12/8/6”
標準仕様
ウエハピンセットニゲ
ストローク
無制限 360°
プレート・
駆動部材質
プレート:アルミ/駆動部:鉄・ステンレスなど
重量
約1kg 約1.5kg 約2.0kg 約2.6kg
価格(税別)
45,000円 85,000円 85,000円 125,000円
標準納期
10-20日
図面(PDF)
MSS175 MSS225 MSS250 MSS300

 

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