θ回転ステージ
ウエハ対応θ回転ステージ
多軸構成 MSA-マルチステージ
MSAマルチステージ（多軸カスタマイズ）対応品 他の軸駆動ステージと組み合わせて、貴社のアプリケーションにあわせたステージを用意いたします
機種一覧 MSSシリーズ （θ回転）
型番 |
MSS175 |
MSS225 |
MSS250 |
MSS300 |
|---|---|---|---|---|
ステージサイズ |
φ175mm | φ225ｍｍ | φ250ｍｍ | φ300mm |
対象ウエハサイズ |
6/5/4” | 8/6/5” | 8/6/4” | 12/8/6” |
標準仕様 |
ウエハピンセットニゲ | |||
ストローク |
無制限 360° | |||
プレート・
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プレート：アルミ/駆動部：鉄・ステンレスなど | |||
重量 |
約1kg | 約1.5kg | 約2.0kg | 約2.6kg |
価格(税別) |
― | ― | ― | ― |
標準納期 |
10-20日 | |||
図面（PDF） |
MSS175 | MSS225 | MSS250 | MSS300 |
