1. デジタルサーボプレス HE-DDシリーズ

  2. 撹拌機/SKシリーズ

  3. セラミックヒートステージ/ PXシリーズ

  4. 顕微鏡ヒートステージ/ PNシリーズ

  5. ウエハホットチャック/PH201シリーズ

  6. 真空チャンバー特注対応品 

  7. 小型温度チャンバー 小型ペルチェタイプ PGシリーズ

  8. リフター・カバー付きホットチャック/加熱炉 PA-LIFシリーズ

  9. セラミック加工品

  10. ダイコレット・吸着コレット カスタム品

  11. エッチング加工品

  12. 銅合金加工品

透過構造 精密ステージ
LXYシリーズ

薄型・高強度ステージ

マイクロリニアガイドとマイクロメータヘッドによる超薄型XYステージ。ステージ厚み 34mm

製品の構成

サイズは、4種類、マイクロヘッドは標準の他に高精細駆動0.0005mm(0.5μm)タイプもオプションで用意

多軸構成 MSA-マルチステージ

MSAマルチステージ(多軸カスタマイズ)対応品 他の軸駆動ステージと組み合わせて、貴社のアプリケーションにあわせたステージを用意いたします

機種一覧 LXYシリーズ(XY2軸・中心部透過構造)

型番
LXY125
LXY140
LXY150
LXY175
LXY200
ステージ
サイズ
125mm×125mm 140mm×140mm 150mm×150mm 175mm×175mm 200mm×200mm
貫通孔
サイズ
φ30 φ58 φ45 φ80
ステージ
高さ
34mm
ストローク
±6.5mm
耐荷重
20kgf
プレート・駆動部材質
プレート部:アルミ/駆動部:鉄、ステンレスなど
重量
約1kg 約1kg 約1kg 約1kg 約1kg
価格(税別)
95,000円 115,000円 135,000円 195,000円 235,000円
通常納期
10-14日
図面(PDF)
LXY125 LXY140 LXY150 LXY175 LXY200
図面(DXF)
LXY125(DXF) LXY140(DXF) LXY150(DXF) LXY175(DXF) LXY200(DXF)

*カスタム 等のお問い合わせは、こちらより info@msa-fatory.co.jp または、お問合せページより

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