薄型・高強度ステージ

マイクロリニアガイドとマイクロメータヘッドによる超薄型XYステージ。ステージ厚み　34ｍｍ

製品の構成

サイズは、４種類、マイクロヘッドは標準の他に高精細駆動0.0005ｍｍ（0.5μｍ）タイプもオプションで用意

多軸構成　MSA-マルチステージ

MSAマルチステージ（多軸カスタマイズ）対応品　他の軸駆動ステージと組み合わせて、貴社のアプリケーションにあわせたステージを用意いたします

機種一覧　　MZSシリーズ　（Z１軸）

型番	MZS180
ステージサイズ	180×150(mm)
ストローク	±20mm
耐荷重	10kgf
プレート・駆動部材質	プレート：アルミ/駆動部：鉄・ステンレスなど
重量	約5kg
定価(税別)	―

 

機種一覧　　　MZS-SHXシリーズ（Z1軸、X１軸）

型番	MZS－SHX150	MZS-SHX200	MZS-SHX250
ステージ サイズ	150×150(mm)	200×200(mm)	250×250(mm)
ストローク （X軸）	70ｍｍ（±35mm)	70ｍｍ（±35mm)	60ｍｍ（±30mm)
ストローク （Z軸）	40ｍｍ	40ｍｍ	40ｍｍ
耐荷重	10kgf
機能	Z,X軸　ロック付き
プレート・ 駆動部材質	プレート：アルミ/駆動部：鉄・ステンレスなど
重量	約5kg	約8kg	約12kg
定価(税別)	―	―	―