1. デジタルサーボプレス HE-DDシリーズ

  2. 撹拌機/SKシリーズ

  3. セラミックヒートステージ/ PXシリーズ

  4. 顕微鏡ヒートステージ/ PNシリーズ

  5. ウエハホットチャック/PH201シリーズ

  6. 真空チャンバー特注対応品 

  7. 小型温度チャンバー 小型ペルチェタイプ PGシリーズ

  8. リフター・カバー付きホットチャック/加熱炉 PA-LIFシリーズ

  9. セラミック加工品

  10. ダイコレット・吸着コレット カスタム品

  11. エッチング加工品

  12. 銅合金加工品

精密Zステージ
MZSシリーズ

薄型・高強度ステージ

マイクロリニアガイドとマイクロメータヘッドによる超薄型XYステージ。ステージ厚み 34mm

製品の構成

サイズは、4種類、マイクロヘッドは標準の他に高精細駆動0.0005mm(0.5μm)タイプもオプションで用意

多軸構成 MSA-マルチステージ

MSAマルチステージ(多軸カスタマイズ)対応品 他の軸駆動ステージと組み合わせて、貴社のアプリケーションにあわせたステージを用意いたします

機種一覧  MZSシリーズ (Z1軸)

型番
MZS180
ステージサイズ
180×150(mm)
ストローク
±20mm
耐荷重
10kgf
プレート・駆動部材質
プレート:アルミ/駆動部:鉄・ステンレスなど
重量
約5kg
定価(税別)
125,000円

 

機種一覧   MZS-SHXシリーズ(Z1軸、X1軸)

型番
MZS-SHX150
MZS-SHX200
MZS-SHX250
ステージ
サイズ
150×150(mm) 200×200(mm) 250×250(mm)
ストローク
(X軸)
70mm(±35mm) 70mm(±35mm) 60mm(±30mm)
ストローク
(Z軸)
40mm 40mm 40mm
耐荷重
10kgf
機能
Z,X軸 ロック付き
プレート・
駆動部材質
プレート:アルミ/駆動部:鉄・ステンレスなど
重量
約5kg 約8kg 約12kg
定価(税別)
225,000円 245,000円 265,000円

 

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