1. デジタルサーボプレス HE-DDシリーズ

  2. 撹拌機/SKシリーズ

  3. 顕微鏡ヒートステージ/ PNシリーズ

  4. ウエハホットチャック/PH201シリーズ

  5. 真空チャンバー特注対応品 

  6. 小型温度チャンバー 小型ペルチェタイプ PGシリーズ

  7. リフター・カバー付きホットチャック/加熱炉 PA-LIFシリーズ

  8. セラミック加工品

  9. 銅合金加工品

  10. 機械加工/マシニング、フライス、旋盤加工

  11. ホモジナイザー・分散用ステージ/ASシリーズ

  12. 空気温調ユニット/PFシリーズ

温度、サイズ、温調・安全機能
全製品カスタム対応可能、加熱プロセスの構築に MSAファクトリー PA10000シリーズ

超高温ホットプレート  ホットプレート構造で 最高温度 1000℃までラインナップ

主な用途

ウエハ加熱(RPシリーズ)、材表研究・評価、無機材料熱処理、耐熱性評価、ベーキング等、RPシリーズには、両面加熱や石英製ベルジャーもオプション対応ありますので、材料のガス置換加熱にもご使用いただけます。

MSAファクトリー 加熱ノウハウ

素材(超耐熱プレート、熱歪対策、チタン製シャーシ)ヒータ設計、断熱、熱輻射など様々なノウハウを結集しております。

高性能

デジタル温度コントローラ/PCC100G、PCC400、プログラムタイプ温度コントローラ/PCC107 との組合せにより、高精度の温度制御を実施いたします。また、RPシリーズはタッチパネル式コントローラにてデータ収集から、レシピ作成まで高機能、高精度コントローラを組み合わせています。

オプション

RPシリーズには石英ガラスのガス置換ベルジャーおよびガス流量計などをオプションにて選択いただけます。ワークのハンドリングは、チタン製ウエハ(ベルジャー)キャリアにて取出しが可能です。加熱処理の枚数が多い場合でも本装置にて対応可能です。

 

安全性

ヒータ設計、配線構造など安全性に考慮した製品に仕上げています。また、過昇温監視機能付のコントローラ/PCC110も用意しております。超高温ホットプレートカタログ2020を参照ください。

 

機種一覧

型番
PA10005
PA10010
RP10008
RP10020
最高温度
1000℃
プレートサイズ
50×50mm 100×100mm 80×80mm 200×200mm
プレート材質
超耐熱合金
電源電圧
AC100V AC200V
オプション
安全ケース 両面加熱、石英ベルジャー(ガス置換)
温度コントローラ
PCC100G,PCC107、その他OP PCC100G、PCC107、PCC118-TP
特長
ホットプレート構造で
最高温度(弊社製品内)
炉体構造で安全機能付き、
タッチパネル式コントローラに対応
価格(税別)
685,000円 755,000円 1,850,000円 2,450,000円
個別カタログ
加熱炉RP10080
総合カタログ
超高温ホットプレートカタログ2020

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