温度、サイズ、温調・安全機能
全製品カスタム対応可能、加熱プロセスの構築に MSAファクトリー PA2000シリーズ

5インチウエハ 位置決めピン、ピンセット用ニゲ加工 オプション

PA2020-C-WP 防水・表面テフロンめっき仕様

高温ホットプレート  薄型ホットプレート構造で  200℃ ラインナップ

主な用途

材表研究・評価、無機材料熱処理、耐熱性評価、ベーキング等

超薄型・断熱構造 PA20 -Cシリーズ

薄型構造 PA20シリーズ、超薄型・断熱構造 PA20-Cシリーズ、コントローラ一体型 PA20Emシリーズの3シリーズ、縦方向、面積方向の省スペース化がはかれます。

防滴構造 PA20 -C-WPシリーズ

専用耐熱ゴムカバーにより、ホットプレート内へのこぼれによる液体が入らないようになっております。液体のこぼしなどによる機器の故障を防いでおります。

プレート表面保護 PA20-C-WPシリーズ

テフロン系の表面処理により、焦げ付きなどによる表面の汚れを少なくいたします。(-Cタイプは、アルミ+アルマイト処理)

MSAファクトリー 加熱ノウハウ

素材(超耐熱プレート、熱歪対策、チタン製シャーシ)ヒータ設計、断熱、熱輻射など様々なノウハウを結集しております。

高性能

デジタル温度コントローラ/PCC100G、PCC400、プログラムタイプ温度コントローラ/PCC107 との組合せにより、高精度の温度制御を実施いたします。PC通信、安全機能など様々なオプションに対応いたします。(選定ガイドPCC100_SG

安全性

ヒータ設計、配線構造など安全性に考慮した製品に仕上げています。また、過昇温監視機能付のコントローラ/PCC110も用意しております。

カスタマイズ・オプション機能

ウエハ加熱用にピンセットニゲ、位置決めピン、プロキシミティ機能など。

機種一覧① 超薄型断熱構造 PA20-C / 簡易防水・表面焦げ付き防止 PA20-C-WP

型番
PA2013-C New!
PA2015-C New!
PA2017-C New!
PA2019-C New!
型番/防滴タイプ
PA2013-C-WP New!
PA2015-C-WP New!
PA2017-C-WP New!
PA2019-C-WP New!
最高温度
200℃
プレートサイズ
130×130mm 150×150mm 175×175mm 190×190mm
外形サイズ*ケーブル引き出し含む
255×202mm 275×222mm 300×247mm 315×262mm
特徴
超薄型・底面ホットプレート、断熱補強により設置面温度 45℃程度(*200℃使用時、設置面は不燃、また周辺に可燃物は置かないようにしてください)
プレート材質
アルミ合金、アルマイト処理
温度分布
±1.5%
電源電圧
AC100V
ホットプレート高さ
20mm
温度コントローラ
PCC100G,PCC107 その他OP
特長
アルミ合金の採用により、
高温ホットプレートにて高性能、安価
仕様図

機種一覧② 超薄型断熱構造 PA20-C  / 簡易防水・表面焦げ付き防止 PA20-C-WP

型番
PA2020-C New!
PA2021-C New!
PA2022-C New!
PA2025-C New!
型番/防滴タイプ
PA2020-C-WP New!
PA2021-C-WP New!
PA2022-C-WP New!
PA2025-C-WP New!
最高温度
200℃
プレートサイズ
200×200mm 215×215mm 225×225mm 250×250mm
外形サイズ*ケーブル引き出し含む
325×272mm 340×287mm 350×297mm 375×322mm
特徴
超薄型・底面ホットプレート、断熱補強により設置面温度 45℃程度(*200℃使用時、設置面は不燃、また周辺に可燃物は置かないようにしてください)、C-WPタイプは、簡易防水タイプ
プレート材質
ーC:アルミ合金、アルマイト処理、-C-WP:アルミ合金、テフロンめっき処理
温度分布
±1.5%
電源電圧
AC100V
ホットプレート高さ
20mm
温度コントローラ
PCC100G,PCC107 その他OP
特長
アルミ合金の採用により、
高温ホットプレートにて高性能、安価
仕様図

機種一覧③ 薄型 PA20シリーズ

型番
PA2015
PA2020
PA2025
PA2540
最高温度
200℃
プレートサイズ
150×150mm 200×200mm 250×250mm 400×200mm
プレート材質
アルミ合金、アルマイト処理
温度分布
±1.5%
電源電圧
AC100V
ホットプレート高さ
42mm
温度コントローラ
PCC100G,PCC107 その他OP
特長
アルミ合金プレートによる
仕様図

 

機種一覧④ コントローラ一体タイプ

型番
PA2015Em
PA2020Em
PA2040Em
最高温度
200℃
プレートサイズ
150×150mm 200×200mm 400×400mm
プレート材質
アルミ合金、アルマイト処理
温度分布
±1.5%
電源電圧
AC100V
ホットプレート高さ
92mm
温度コントローラ
一体タイプ、省スペース
特長
コントローラ一体構造薄型タイプ
仕様図

 

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