5インチウエハ　位置決めピン、ピンセット用ニゲ加工　オプション

高温ホットプレート　　薄型ホットプレート構造で　　200℃　ラインナップ

主な用途

材表研究・評価、無機材料熱処理、耐熱性評価、ベーキング等

超薄型・断熱構造

薄型構造　PA20シリーズ、超薄型・断熱構造　PA20-Cシリーズ、コントローラ一体型　PA20Ｅｍシリーズの３シリーズ、縦方向、面積方向の省スペース化がはかれます。

MSAファクトリー　加熱ノウハウ

素材（超耐熱プレート、熱歪対策、チタン製シャーシ）ヒータ設計、断熱、熱輻射など様々なノウハウを結集しております。

高性能

デジタル温度コントローラ／PCC100G、PCC400、プログラムタイプ温度コントローラ/PCC107　との組合せにより、高精度の温度制御を実施いたします。PC通信、安全機能など様々なオプションに対応いたします。（選定ガイドPCC100_SG）

安全性

ヒータ設計、配線構造など安全性に考慮した製品に仕上げています。また、過昇温監視機能付のコントローラ/PCC110も用意しております。

カスタマイズ・オプション機能

ウエハ加熱用にピンセットニゲ、位置決めピン、プロキシミティ機能など。

機種一覧①　超薄型断熱構造　PA20-Cシリーズ

型番	PA2015-C New!	PA2017-C New!	PA2020-C New!	PA2025-C New!
最高温度	200℃
プレートサイズ	150×150mm	175×175mm	200×200mm	250×250mm
プレート材質	アルミ合金、アルマイト処理
温度分布	±1.5%
電源電圧	AC100V
ホットプレート高さ	20mm
温度コントローラ	PCC100G,PCC107　その他OP
特長	アルミ合金の採用により、 高温ホットプレートにて高性能、安価
仕様図	―	―	―	―

機種一覧②　超薄型断熱構造　PA20-Cシリーズ

型番	PA2027-C New!	PA2030-C New!	PA2032-C New!	PA2542-C New!
最高温度	200℃
プレートサイズ	275×275mm	300×300mm	300×200mm	400×200mm
プレート材質	アルミ合金、アルマイト処理
温度分布	±1.5%
電源電圧	AC100V
ホットプレート高さ	20mm
温度コントローラ	PCC100G,PCC107　その他OP
特長	アルミ合金の採用により、 高温ホットプレートにて高性能、安価
仕様図	―	―	―	―

機種一覧③　薄型　PA20シリーズ

型番	PA2015	PA2020	PA2025	PA2540
最高温度	200℃
プレートサイズ	150×150mm	200×200mm	250×250mm	400×200mm
プレート材質	アルミ合金、アルマイト処理
温度分布	±1.5%
電源電圧	AC100V
ホットプレート高さ	42mm
温度コントローラ	PCC100G,PCC107　その他OP
特長	アルミ合金プレートによる
仕様図	―	―	―	―

機種一覧④　コントローラ一体タイプ

型番	PA2015Em	PA2020Em	PA2040Em
最高温度	200℃
プレートサイズ	150×150mm	200×200mm	400×400mm
プレート材質	アルミ合金、アルマイト処理
温度分布	±1.5%
電源電圧	AC100V
ホットプレート高さ	92mm
温度コントローラ	一体タイプ、省スペース
特長	コントローラ一体構造薄型タイプ
仕様図	―	―	―