石英ガラス製ウェットプロセス用キャリア　SGFシリーズ

石英ガラス製ウェハキャリア（標準タイプ）、テフロン製より、クリーン度が必要なプロセス向け

豊富な形状

様々なウェットプロセスに対応できるよう、形状、サイズを標準化しています。

小規模プロセスに

耐薬品性、及び耐熱性に優れた石英ガラス製の洗浄治具です。
小規模プロセス、評価、研究用途に最適です。

機種一覧

型番	SGF0510			SFG1010
取っ手部	TypeA(溶接)	TypeB(ねじ)	TypeC(なし)	TypeA(溶接)	TypeB(ねじ)	TypeC(なし)
取っ手 サイズ	φ6×L108mm		―	φ6×L100mm		―
スリット 幅	1.5mm			1.0mm
ワーク 厚み	0.5～0.8mm			0.5～0.8mm
ワーク サイズ	□10～20mm			□5～15mm
ワーク 収納数	6枚			5枚
定価 (税別)	―	―	―	―	―	―