石英ガラス製ウェットプロセス用キャリア SGFシリーズ
石英ガラス製ウェハキャリア（標準タイプ）、テフロン製より、クリーン度が必要なプロセス向け
豊富な形状
様々なウェットプロセスに対応できるよう、形状、サイズを標準化しています。
小規模プロセスに
耐薬品性、及び耐熱性に優れた石英ガラス製の洗浄治具です。
小規模プロセス、評価、研究用途に最適です。
機種一覧
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型番 |
SGF0510 |
SFG1010 |
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取っ手部 |
TypeA(溶接) | TypeB(ねじ) | TypeC(なし) | TypeA(溶接) | TypeB(ねじ) | TypeC(なし) |
取っ手
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φ6×L108mm | ― | φ6×L100mm | ― | ||
スリット
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1.5mm | 1.0mm | ||||
ワーク
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0.5～0.8mm | 0.5～0.8mm | ||||
ワーク
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□10～20mm | □5～15mm | ||||
ワーク
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6枚 | 5枚 | ||||
定価
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