石英ガラス製ウェットプロセス用キャリア SGFシリーズ
石英ガラス製ウェハキャリア（標準タイプ）、テフロン製より、クリーン度が必要なプロセス向け
耐久性もPTFE、PFAと比較し、各段に高く、コンタミ、パーティクルに優れた構造、材質です。
豊富な形状
様々なウェットプロセスに対応できるよう、形状、サイズを標準化しています。
小規模プロセスに
耐薬品性、及び耐熱性に優れた石英ガラス製の洗浄治具です。
小規模プロセス、評価、研究用途に最適です。
カスタム対応
カスタム対応も可能です。ぜひ、お問合せください。
ハンドル（取っ手） ３パターン用意
ハンドルは、溶接、ねじ込み（取り外し可）、なし と３パターンを用意しております。下図、ハンドルなしタイプ。
[caption id="attachment_3540" align="aligncenter" width="1440"]
ハンドルなし タイプ Type B[/caption]
機種一覧① 網形状タイプ
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型番 |
SGFH0508 |
SFGH0708 |
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取っ手部 |
TypeA(溶接) | TypeB(ねじ) | TypeC(なし) | TypeA(溶接) | TypeB(ねじ) | TypeC(なし) |
取っ手
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φ8×L80mm | ― | φ8×L80mm | ― | ||
ポケット部 |
46×46mm | 1.0mm | ||||
ポケット深さ |
8mm | 0.5～0.8mm | ||||
| 材質 | 溶融石英、研磨無し | □5～15mm | ||||
図面 |
SGFH-0508 | SGFH-0508 | ― | ― | ― | ― |
機種一覧
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型番 |
SGF0510 |
SFG1010 |
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取っ手部 |
TypeA(溶接) | TypeB(ねじ) | TypeC(なし) | TypeA(溶接) | TypeB(ねじ) | TypeC(なし) |
取っ手
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φ6×L108mm | ― | φ6×L100mm | ― | ||
スリット
|
1.5mm | 1.0mm | ||||
ワーク
|
0.5～0.8mm | 0.5～0.8mm | ||||
ワーク
|
□10～20mm | □5～15mm | ||||
ワーク
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6枚 | 5枚 | ||||
定価
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― | ― | ― | ― | ― | ― |
機種一覧
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型番 |
SGF0510-02 New! |
SFG1010-02 New! |
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取っ手部 |
TypeA(溶接) | TypeB(ねじ) | TypeC(なし) | TypeA(溶接) | TypeB(ねじ) | TypeC(なし) |
取っ手
|
φ6×L108mm | ― | φ6×L100mm | ― | ||
スリット
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2.5mm | 2.0mm | ||||
ワーク
|
1.5～1.8mm | 1.5～1.8mm | ||||
ワーク
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□10～20mm | □5～15mm | ||||
ワーク
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6枚 | 5枚 | ||||
定価
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― | ― | ― | ― | ― | ― |
