超高温ホットプレート ホットプレート構造で 最高温度 1000℃までラインナップ
Main applications
WAFER HEATING (RP SERIES), MATERIAL SURFACE RESEARCH AND EVALUATION, INORGANIC MATERIAL HEAT TREATMENT, HEAT RESISTANCE EVALUATION, BAKING, ETC. THE RP SERIES ALSO HAS OPTIONS FOR DOUBLE-SIDED HEATING AND QUARTZ BELL JARS, SO IT CAN ALSO BE USED FOR GAS REPLACEMENT HEATING OF MATERIALS.
MSA FACTORY HEATING KNOW-HOW
We combine various expertise in materials (super heat-resistant plates, heat distortion countermeasures, titanium chassis) heater design, thermal insulation, thermal radiation, etc.
high efficiency
デジタル温度コントローラ／PCC100G、PCC400、プログラムタイプ温度コントローラ/PCC107 との組合せにより、高精度の温度制御を実施いたします。また、RPシリーズはタッチパネル式コントローラにてデータ収集から、レシピ作成まで高機能、高精度コントローラを組み合わせています。
option
RPシリーズには石英ガラスのガス置換ベルジャーおよびガス流量計などをオプションにて選択いただけます。ワークのハンドリングは、チタン製ウエハ（ベルジャー）キャリアにて取出しが可能です。加熱処理の枚数が多い場合でも本装置にて対応可能です。
safety
ヒータ設計、配線構造など安全性に考慮した製品に仕上げています。また、過昇温監視機能付のコントローラ/PCC110も用意しております。超高温ホットプレートカタログ2020を参照ください。
List of models
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model number |
PA10005 |
PA10010 |
RP10008 |
RP10020 |
Max. temperature |
1000℃ | |||
Plate size |
50 x 50mm | 100 x 100mm | 80 x 80mm | 200 x 200mm |
Plate Material |
Super heat-resistant alloys | |||
Supply voltage |
AC100V | AC200V | ||
option |
安全ケース | 両面加熱、石英ベルジャー（ガス置換） | ||
Temperature Controller |
PCC100G,PCC107、その他OP | PCC118-TP | ||
forte |
ホットプレート構造で
最高温度（弊社製品内） |
炉体構造で安全機能付き、
タッチパネル式コントローラに対応 |
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Price (excluding tax) |
- | - | - | - |
個別カタログ |
加熱炉RP10080 | |||
General Catalog |
超高温ホットプレートカタログ2020 | |||
