超高温ホットプレート ホットプレート構造で 最高温度 1000℃までラインナップ
主な用途
ウエハ加熱（RPシリーズ）、材表研究・評価、無機材料熱処理、耐熱性評価、ベーキング等、RPシリーズには、両面加熱や石英製ベルジャーもオプション対応ありますので、材料のガス置換加熱にもご使用いただけます。
MSAファクトリー 加熱ノウハウ
素材（超耐熱プレート、熱歪対策、チタン製シャーシ）ヒータ設計、断熱、熱輻射など様々なノウハウを結集しております。
高性能
デジタル温度コントローラ／PCC100G、PCC400、プログラムタイプ温度コントローラ/PCC107 との組合せにより、高精度の温度制御を実施いたします。また、RPシリーズはタッチパネル式コントローラにてデータ収集から、レシピ作成まで高機能、高精度コントローラを組み合わせています。
オプション
RPシリーズには石英ガラスのガス置換ベルジャーおよびガス流量計などをオプションにて選択いただけます。ワークのハンドリングは、チタン製ウエハ（ベルジャー）キャリアにて取出しが可能です。加熱処理の枚数が多い場合でも本装置にて対応可能です。
安全性
ヒータ設計、配線構造など安全性に考慮した製品に仕上げています。また、過昇温監視機能付のコントローラ/PCC110も用意しております。超高温ホットプレートカタログ2020を参照ください。
機種一覧
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型番 |
PA10005 |
PA10010 |
RP10008 |
RP10020 |
最高温度 |
1000℃ | |||
プレートサイズ |
50×50mm | 100×100mm | 80×80mm | 200×200mm |
プレート材質 |
超耐熱合金 | |||
電源電圧 |
AC100V | AC200V | ||
オプション |
安全ケース | 両面加熱、石英ベルジャー（ガス置換） | ||
温度コントローラ |
PCC100G,PCC107、その他OP | PCC100G、PCC107、PCC118-TP | ||
特長 |
ホットプレート構造で
最高温度（弊社製品内） |
炉体構造で安全機能付き、
タッチパネル式コントローラに対応 |
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価格（税別） |
― | ― | ― | ― |
個別カタログ |
加熱炉RP10080 | |||
総合カタログ |
超高温ホットプレートカタログ2020 | |||
