真空圧コントローラ／定圧チャンバー、真空チャンバー・装置 最高温度 800℃
主な用途
定圧コントローラは、一定圧力環境を高精度で維持いたします。減圧乾燥/VOC、成膜処理、圧力センサーの評価など様々な用途に適合いたします
MSAファクトリー 加熱・圧力制御ノウハウ
高速PID制御による一定圧力の調整、マスフローコントロール、真空チャンバー、高温ホットプレートなど様々な技術ノウハウを盛り込んでいます。
シンプルな本体＋豊富なオプションにより様々なアプリケーションに対応
特殊仕様製品で、お客様の仕様による製作をしております。また、様々なオプションにも応えられる技術応用力を有しています。
高性能・高温対応・高精度圧力制御
高温ヒータ仕様により、最高温度は800℃までの超高温まで、ペルチェタイプでは、室温以下での仕様にも対応。圧力制御については、精密圧力モニターによるPID制御で１Pa単位での制御・安定性を維持できます。
安全性
オプションにて、ガス漏れ検知、異常圧検知、過昇温監視機能、漏電検知機能、負荷断線機能などを盛り込んだ安全機能をコントローラ追加することも可能です。
機種一覧
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型番 |
PGV3010 |
PGV3010-P |
PH225-8025 |
最高温度 |
温度制御なし | -10~+80℃ | 室温~800℃ |
チャンバーサイズ |
100×100mm、深さ50mm | 75×75mm、深さ10mm | φ250mm、深さ150mm |
圧力範囲 |
10~101300Pa | 110000-90000Pa | 200-10000Pa |
電源電圧 |
AC100V | ||
特長 |
手動式真空ホットチャンバー | 特注対応タイプ | |
適合温度コントローラ |
特注対応 | ||
コントローラ |
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オプション |
マスフローコントローラ、
ガス検知、非常停止機能 |
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