真空高速乾燥オーブン PH224Light 最高温度 200℃
主な用途
真空乾燥に特化したオーブンです。既存の真空オーブン炉より、小型タイプ、ウエハ状、薄型のワークに対して、低温度、短時間での乾燥を行えます。また、真空オーブン炉より、コストパフォーマンスが高いシリーズです。
MSAファクトリー 加熱ノウハウ
素材（超耐熱プレート、熱歪対策、チタン製シャーシ）ヒータ設計、断熱、熱輻射など様々なノウハウを結集しております。
シンプルな本体構造、コントローラにより安価なプロセス構成が可能
シンプルな本体＋コントローラにより、100万円台にて、真空乾燥プロセスの構築が可能です。また、真空ポンプと合わせた構成での取り扱いも可能です。
高性能
ホットプレート加熱ですので、均一な加熱が可能です。ワークの処理時間も短時間で、従来プロセスとの時間をぜひ、比較してください。
安全性
非常停止機能、漏電検知機能、負荷断線機能などを盛り込んだ安全機能がコントローラに装備されています。
機種一覧
自動真空ホットチャンバー
スタンダード機種手動式バルブ操作真空ホットチャンバー
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型番 |
PH224S-120 |
PH224S-200 |
PH224D-120 |
PH224D-200 |
最高温度 |
200℃ | |||
真空度 |
500Pa程度 | |||
プレートサイズ |
120×120mm | 200×200mm | 120×120mm | 200×200mm |
プレート材質 |
アルミ合金 | |||
電源電圧 |
AC100V | |||
特長 |
自動真空ホットチャンバー
スタンダード機種、上面観察窓、高速昇温 |
手動式バルブ操作真空ホットチャンバー、上面観察窓、高速昇温 | ||
コントローラ |
PCC118-HV |
PCC107-FL、PCC100-FL,PCC110-FL |
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コントローラ機能 |
モノクロタッチパネル、レシピ登録管理機能(10レシピ、15ステップ)、バルブ動作自動プログラム、温度プログラム運転、安全機能（過昇温シャットダウン、漏電ブレーカ）、N2流量デジタル表示、ピラニーゲージ、真空ポンプ連動
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PCC107-FL：プログラム式流量計付き、PCC100-FL：定値制御、流量計付き、PCC110-FL：過昇温、定値制御、流量計付き | ||
オプション |
酸素濃度計、露点計
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半導体センサ真空計、ピラニーゲージ | ||
