ウエハホットチャック　サイズ　４”／６”ウエハ対応　　最高温度　200℃まで　のスタンダードウエハチャック

主な用途

ウエハ用　温度特性試験、プローブ搭載用ホットチャック　ガラスチャック、基板電気特性試験

デジタル温度コントローラ

MSAファクトリー　標準温度コントローラとワンタッチコネクタで接続いたします。高精度な温度コントロールが簡単な操作ですぐに行えます。C100_SG

チャックパターンのユニバーサルパターン

標準吸着パターン：中心の吸着孔にワークを置けば、サイズはユニバーサル対応。例：６”仕様のチャックであれば、６”、４”、３”と６”以下のサイズであればいずれにも使用可能です。

チャック面　導電性／絶縁性／リーク

チャック面は、金メッキ仕様（200℃）導電性仕様と、アルマイト処理（200℃）絶縁性仕様の２パターンです。

機種一覧

型番	PH201-K-04	PH201-S-04	PH201-K-06	PH201-S-06
最高温度	200℃	200℃	200℃	200℃
プレートサイズ	4"		6”
プレート材質	アルミ合金
表面処理	金メッキ	黒アルマイト	金メッキ	黒アルマイト
電源電圧	AC100V
オプション	プローバ取付用アダプタ（カスタマイズ対応）
適合温度 コントローラ	PCC100G、PCC107
特長	標準構成
本体価格（税別）	―	―	―	―