ホットチャック/WaferHotChack PH20シリーズ 全製品 画像表示
| ウエハホットチャック PH201シリーズ | PH201S-06、K-06、S-04、K-04 ４”、６”ウエハ対応 |
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| ウエアホットチャック PH-X01シリーズ | PH050、PH070、PH101、PH101-TIN、PH201C、PH302 50ｍｍ、100ｍｍ、200ｍｍ、300ｍｍ対応 |
| フィルムホットチャック PA20XX-FC | PA2012-FC、PA2012-WPFC、PA2020-FC、PA2020-WPFC 多孔質セラミックホット吸着 |
| リフター・カバー付ホットチャック | リフター・カバ扉付き 大型基板・大型ガラス基板 対応 |
| コールド・ホットウエハチャック PJシリーズ | 冷却機能付き ホットチャック ホットプレート |