ホットチャック/WaferHotChack  PH20シリーズ 全製品 画像表示

ウエハホットチャック PH201シリーズ PH201S-06、K-06、S-04、K-04   4”、6”ウエハ対応
ウエアホットチャック PH-X01シリーズ PH050、PH070、PH101、PH101-TIN、PH201C、PH302  50mm、100mm、200mm、300mm対応
フィルムホットチャック PA20XX-FC PA2012-FC、PA2012-WPFC、PA2020-FC、PA2020-WPFC
リフター・カバー付ホットチャック リフター・カバ扉付き 大型基板・大型ガラス基板 対応
コールド・ホットウエハチャック PJシリーズ 冷却機能付き ホットチャック ホットプレート