1. デジタルサーボプレス HE-DDシリーズ

  2. 撹拌機/SKシリーズ

  3. セラミックヒートステージ/ PXシリーズ

  4. 顕微鏡ヒートステージ/ PNシリーズ

  5. ウエハホットチャック/PH201シリーズ

  6. 真空チャンバー特注対応品 

  7. 小型温度チャンバー 小型ペルチェタイプ PGシリーズ

  8. リフター・カバー付きホットチャック/加熱炉 PA-LIFシリーズ

  9. セラミック加工品

  10. ダイコレット・吸着コレット カスタム品

  11. エッチング加工品

  12. 銅合金加工品

温度、サイズ、温調・安全機能
全製品カスタム対応可能、加熱プロセスの構築に MSAファクトリー PA4000シリーズ

高温ホットプレート  薄型ホットプレート構造で  400℃ ラインナップ

主な用途

ウエハ加熱(RPシリーズ)、材表研究・評価、無機材料熱処理、耐熱性評価、ベーキング等、RPシリーズには、両面加熱や石英製ベルジャーもオプション対応ありますので、材料のガス置換加熱にもご使用いただけます。

MSAファクトリー 加熱ノウハウ

素材(超耐熱プレート、熱歪対策、チタン製シャーシ)ヒータ設計、断熱、熱輻射など様々なノウハウを結集しております。

高性能

デジタル温度コントローラ/PCC100G、PCC400、プログラムタイプ温度コントローラ/PCC107 との組合せにより、高精度の温度制御を実施いたします。

安全性

ヒータ設計、配線構造など安全性に考慮した製品に仕上げています。また、過昇温監視機能付のコントローラ/PCC110も用意しております。温度制御総合カタログ2020を参照ください。

 

機種一覧

型番
PA4007
PA4010
PA4015
PA4020
最高温度
400℃
プレートサイズ
70×80mm 100×100mm 150×150mm 200×200mm
プレート材質
アルミ合金、アルマイト処理
温度分布
±1% ±2.0%
電源電圧
AC100V
オプション
安全ケース-CC
温度コントローラ
PCC100G,PCC107 その他OP
特長
アルミ合金の採用により、
高温ホットプレートにて高性能、安価。
定価(税別)
68,000円
*コントローラ別途
93,000円
*コントローラ別途
125,000円
*コントローラ別途
165,000円
*コントローラ別途
外形図

機種一覧

型番
PA4030
PA4040
PA4060
PA4040-SC
最高温度
400℃
プレートサイズ
300×300mm 400×400mm 600×600mm 400×200mm
プレート材質
アルミ合金、アルマイト処理
温度分布
±4%
電源電圧
AC200V
温度コントローラ
PCC400、PCC407 その他OP
特長
アルミ合金の採用により、
高温ホットプレートにて高性能、安価。
400℃タイプ
安全カバー付き
(-SCシリーズ参照)
定価(税別)
200,000円

 

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