1. デジタルサーボプレス HE-DDシリーズ

  2. 撹拌機/SKシリーズ

  3. セラミックヒートステージ/ PXシリーズ

  4. 顕微鏡ヒートステージ/ PNシリーズ

  5. ウエハホットチャック/PH201シリーズ

  6. 真空チャンバー特注対応品 

  7. 小型温度チャンバー 小型ペルチェタイプ PGシリーズ

  8. リフター・カバー付きホットチャック/加熱炉 PA-LIFシリーズ

  9. セラミック加工品

  10. ダイコレット・吸着コレット カスタム品

  11. エッチング加工品

  12. 銅合金加工品

温度、サイズ、温調・安全機能
全製品カスタム対応可能、加熱プロセスの構築に! MSAファクトリー PA8000シリーズ

超高温ホットプレート
ホットプレート構造で最高温度1000℃までラインナップ

主な用途

ウエハ加熱(RPシリーズ)、材表研究・評価、無機材料熱処理、耐熱性評価、ベーキング等、RPシリーズには、両面加熱や石英製ベルジャーもオプション対応ありますので、材料のガス置換加熱にもご使用いただけます。

MSAファクトリー 加熱ノウハウ

素材(超耐熱プレート、熱歪対策、チタン製シャーシ)ヒータ設計、断熱、熱輻射など様々なノウハウを結集しております。

高性能

デジタル温度コントローラ/PCC100G、PCC400、プログラムタイプ温度コントローラ/PCC107 との組合せにより、高精度の温度制御を実施いたします。

安全性

ヒータ設計、配線構造など安全性に考慮した製品に仕上げています。また、過昇温監視機能付のコントローラ/PCC110も用意しております。超高温ホットプレートカタログ2020を参照ください。

 

機種一覧

型番
PA8005/-CC
PA8010/-CC
PA8015/-CC
PA8020/-CC
PA8030/-CC
プレート
サイズ
64mm×50mm 100mm×100mm 150mm×150mm 200mm×200mm 300mm×300mm
プレート材質
耐熱超合金
電源・電圧
AC100V AC200V
温度分布
±4%
オプション
安全ケース-CC
コントローラ
PCC100G、PCC107 その他OP
PCC100G-200V、
PCC107-200V、その他OP
PCC400、
PCC407、
その他OP
特徴
PA8005・8010・8015・8020:安全カバーなし
PA8005-CC・8010-CC・8015-CC・8020-CC・8030-CC:安全カバー付き
*外形図をご確認ください
外形図
安全カバー
付き
外形図
安全カバー
なし
PA8005仕様図 PA8010仕様図 PA8015仕様図
定価(税別)、
コントローラ
含む
-CC(安全カバー
付き)
315,000円
安全カバー
なし
270,000円
コントローラ
PCC100G-10A
-CC(安全カバー
付き)
330,000円
安全カバー
なし
300,000円
コントローラ
PCC100G-20A
-CC(安全カバー
付き)
360,000円
安全カバー
なし
335,000円
コントローラ
PCC100G-200V
-CC
(安全カバー
付き)
440,000円
安全カバー
なし
385,000円
コントローラ
PCC100G-200V
-CC
(安全カバー
付き)
950,000円
コントローラ
PCC400-200V
カタログ
(総合・
個別)

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